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반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.11 no.2, 2012년, pp.39 - 43
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This paper presents a study on the design of a pulling module for silicon ingot and an apparatus of manufacturing silicon single crystal ingot using the same method. The pulling module is conceptually designed by using TRIZ. Czochralski method(CZ) is representative way to manufacture single crystal ...
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| TRIZ란 무엇인가? | 창의적 문제 해결을 위한 이론인 TRIZ란 다음과 같다. TRIZ는 러시아어 ‘Teoriya Reshniya Izobretatelskikh Zadatch’의 약자로 영어로는 Theory of Inverntive Problem Solving (문제를 창의적으로 해결하기 위한 이론)이란 의미이다. | |
| 초크랄스키 공정의 잉곳 제조과정에서 네킹단계를 거치게 되는데, 이때 어떠한 문제점이 발생하는가? | 초크랄스키 공정의 잉곳 제조과정에서 시드 결정으로부터 가늘고 긴 결정을 성장시키는 네킹(Necking) 단계를 거치게 된다. 이 때 필연적으로 굵기가 가는 부분이 형성되며 잉곳의 성장에 따라 고체화된 단결정이 결정의 최상부를 끌어당기는 인장력으로 인해 응력이 집중되고 결과적으로 끊어짐이 발생한다. | |
| 실리콘 잉곳은 어떠한 기법에 의해 생산되는가? | 반도체용 웨이퍼(Wafer)의 원재료인 실리콘 잉곳(Ingot)은 단결정 실리콘 시드(Seed)를 용융된 단결정 실리콘과 접촉시킨 후 천천히 위로 끌어 올리면서 냉각 고화하며 성장시키는 초크랄스키법(Czochralski method)에 의해 생산된다. |
한국반도체연구조합 "반도체로 움직이는 세상", 2008.
주대영 "반도체산업의 2020 비전과 전략", 2007
김효준, "생각의 창의성 TRIZ" 지혜, 2004.
김호종, "6 단계 창의성을 적용한 실용트리즈", 두양사, 2006
임사환, 허용정, "6SC 와 Q-TRIZ 를 응용한 RPS-TRIZ" 한국산학기술학회, pp. 635, 2011
홍성도, 임사환, 허용정, "TRIZ(6SC)를 활용한 솔라 플라워의 창의적설계" , 반도체디스플레이 기술학회지, 2011. 6
홍성도, 손준호, 임사환, 허용정, "TRIZ 를 활용한 솔라플라워의 창의적 설계" 2010년 한국 실천공학교육학회 학술발표대회 논문집, Vol.2, No.1, pp. 5-10, 2010.
한국 트리즈 협회, "Business TRIZ", 교보문고, 2009.
정다해, 이경원, 정찬근, "트리즈 100 배활용하기" 두양사, 2007.
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