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NTIS 바로가기한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, v.13 no.8, 2012년, pp.3319 - 3325
윤현중 (대구가톨릭대학교 기계자동차공학부) , 김진곤 (대구가톨릭대학교 기계자동차공학부)
This paper describes the development of the TrackSim, which is a discrete event simulation tool for photolithography equipment of semiconductor industry. The TrackSim is focused on the accurate simulation model of the photolithography equipment and easy-to-use user interfaces. TrackSim provides 3D s...
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