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NTIS 바로가기대한기계학회 2001년도 추계학술대회논문집B, 2001 Nov. 01, 2001년, pp.59 - 64
임익태 (익산대학 자동차공학과) , 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스 공학부)
The fluid flow, mass transfer and film thickness variation during a wafer spin coating process are numerically studied. Governing equations for the cylindrical coordinates are simplified using the similarity transformation and solved efficiently using the finite difference method. Concentration depe...
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