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[국내논문] 소결방법에 따른 질화알루미늄의 연삭 가공 특성에 관한 연구
A Study on the Grinding Characteristics of AlNs Produced by Different Sintering Techniques 원문보기

한국기계가공학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, v.13 no.2, 2014년, pp.94 - 99  

조준현 (금오공과대학교) ,  이상민 (금오공과대학교) ,  문동주 (금오공과대학교) ,  이종찬 (금오공과대학교) ,  정재극 (월덱스) ,  허찬 (월덱스)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this study, using AlN materials produced by two different sintering techniques, grinding experiments were performed under various grinding conditions, including different table speeds and cut depths. In order to measure the grinding force, a tool dynamometer was used. Surface roughness measuremen...

주제어

#연삭저항력   #표면거칠기   #질화알루미늄   #상압소결   #가압소결  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 현재 AlN소재 관련 연삭가공에 대한 연구가 미비하여 데이터구축이 절실히 필요하다. 따라서 본 연구에서는 제조방식에 따른 AlN의 연삭가공을 통한 기계적 특성을 분석하고, 연삭저항력과 표면조도의 변화를 관찰하여 AlN소재의 연삭가공 경향을 알아보고자 한다.
  • 본 연구에서는 다이아몬드 휠을 이용하여 AlN소재의 연삭가공특성을 알아보기 위하여 연삭조건을 변화시켜 실험을 실시하였고, 각각의 조건에 따른 연삭특성을 살펴보았다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
AlN소재의 특징은 무엇인가 AlN소재는 이론 열전도도가 알루미나보다 10배 이상이고 전기 절연성이 우수하며 열팽창계수가 알루미나보다 작고 Si 반도체와 비슷하며, 기계적 강도도 우수한 특징이 있어 최근 고열전도세라믹스의 반도체 기판이나 부품에 응용되고 있다. 특히 열팽창계수가 Si와 유사하고 할로겐 플라즈마에 대하여 높은 저항성을 보여주기 때문에 반도체 공정장비용 소재로서 응용이 확대되고 있다. 특히 CVD 공정용 heater를 제조함에 있어 AlN소재를 적용하는 연구가 활발히 진행되고 있다.
질화알루미늄은 어떠한 방식으로 제조되는가 질화알루미늄(AlN)은 현재 상압소결과 가압소결(Pressureless-sintered, Hot-Pressed), 이 두 가지 방식으로 제조되고 있으며 Heater를 제조하기 위해서는 연삭가공이 반드시 필요하다. 현재 AlN소재 관련 연삭가공에 대한 연구가 미비하여 데이터구축이 절실히 필요하다.
AlN소재 관련 연삭가공에 대한 연구가 필요한 이유는 무엇인가 질화알루미늄(AlN)은 현재 상압소결과 가압소결(Pressureless-sintered, Hot-Pressed), 이 두 가지 방식으로 제조되고 있으며 Heater를 제조하기 위해서는 연삭가공이 반드시 필요하다. 현재 AlN소재 관련 연삭가공에 대한 연구가 미비하여 데이터구축이 절실히 필요하다.
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참고문헌 (5)

  1. J. H. Cho, 2014, "A study on the Grinding Characteristics of AlN", Master of Engineering, KUMOH UNIV. Republic of Korea 

  2. E. S. Jung, "A Study on the Grinding Characteristics of Ceramics", J. of KSMPE, Vol. 11 No. 3, pp. 86-92, 2002 

  3. S. B. Ha, "A Study on the Grinding Characteristics of Ceramics", J. of KSMPE, Vol. 16, No. 10, pp. 182-186, 1999 

  4. S. K. KO, "Characteristics and Applications of AlN", J of KCERS, Vol. 14, No. 1, pp. 29-34, 2011 

  5. Jong-Chan Lee, In-Suk You, "Abrasives grinding cutting process", Munundang, pp. 213-232, 2012. 

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