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NTIS 바로가기진공 이야기 = Vacuum magazine, v.2 no.4, 2015년, pp.39 - 46
류재경 (우성진공)
After stepping into a new field of vacuum 30 years ago, our company has grown up steadily as a specialized vacuum industry, and now we can provide vacuum devices covering most of the pressure range. We are planning to put out high level dry pump like a multistage Roots pump on the market in the near...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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통용되는 회전자 단면 형상에는 무엇이 있는가? | 통용되는 회전자 단면 형상에는 완성도가 높은 싸이 클로이드(Cycloid)와 인볼루트(Involute)가 있다. 과거 자동 공작기계가 잘 발달되어 있지 않던 시절에는 원호 (arc)를 이용한 프로화일이 주로 사용되었지만 요즈음과같이 수치제어 다축 가공기가 주류를 이루고 있는 상황에서 형상의 복잡성은 별로 문제되지 않는다. | |
oil-free형 스크롤 펌프는 어떤 용도로 쓰이는가? | ANEST IWATA사에서 최초로 개발된 이 펌프는 소형이면서 다른 타입의 드라이 진공 펌프보다 소음과 진동이 적다. 특히 분석 및 반도체 관련 분야, 스퍼터링, 진공 증착, 방사광 가속기, 누출 탐지기, 실험실 등 깨끗하고 높은 품질의 진공을 필요로 하는 작업에 사용된다. 그러나 화학 물질, 용매 또는 입자를 함유, 폭발성 가연성, 독성 또는 부식성 물질에 취약하고 사용온도도 제한이 있다. | |
루츠 펌프 회전자가 다양한 형태를 가질 수 있는 이유는 무엇인가? | 루츠 펌프 회전자는 다양한 형태를 가질 수 있다. 두 짝의 회전자가 서로 맞물려 돌아가기만 하면 기본적인 작동이 가능하기 때문이다. 그러나 같은 성능이라면 작고 가 벼우며 전력이 적게 소비되는 것을 선택하기 마련이다. |
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