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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)코디박 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-10 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 산업자원부 Ministry of Commerce Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201300022735 |
과제고유번호 | 1415117623 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화 |
DB 구축일자 | 2013-12-21 |
키워드 | 진공.펌프.드라이펌프.태양전지.LCD |
1. 최종목표 몇 달성정도
안정된 배기속도, 이상 압축을 억제, Pump의 실배기량을 충분히 활용함으로 소비전력절감 및 Running Cost 절감 효과를 가지는 Lead 및 경사각이 다항방정식에 의해 변화하는 Screw Rotor를 채택한 건식진공펌프 개발
2. 개발내용 및 결과
1. 부등 lead 경사각 screw rotor type 의 30,000 ℓ/min급 건식 진공 펌프 개발완료
2. 성능평가 확인 및 양산화 시스템 구축 (상기 표의 달성치 참조)
3. 기대효과(기술적 및 경제적 효과)
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