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NTIS 바로가기진공 이야기 = Vacuum magazine, v.2 no.1, 2015년, pp.31 - 34
This article introduces fundamentals of self-diagnosis and predictive (or preventive) maintenance technologies for dry vacuum pumps. The state variables of dry pumps are addressed, such as the pump and motor body temperatures, consumption currents of main and booster pumps, mechanical vibration, and...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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진공 펌프의 상태진단 및 예지보수 관련 국가지원의 과제는 무엇인가? | 진공 펌프의 상태진단 및 예지보수 관련 국가지원의 과제는 “차세대 반도체용 진공공정의 실시간 측정, 진단, 제어 기술 개발” 중 “스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발”로 수행된 바 [1,2] 있으며, 본 과제의 주요 실적은2 건의 PCT 특허 [3,4]로 국내외에 등록되어 있으며, 우리 진공학회 논문 [5]으로도 소개된 바 있다. | |
진공펌프의 상태변화 측정의 한계는 무엇인가? | 진공펌프의 상태변화를 어떻게 평가할 것인가는 아직도 표준화된 방법이 완성되지 않은 실정이다. 그러나 본 연구팀의 경험에 의하면, 진공펌프 운전 시 최소한 측정 가능한 물리량, 즉 부위별 온도, 모터 소비전류, 배기부 압력, 모터 회전속도, N2 가스 유량 등에 의존할 수 밖에 없다는 점이다. 그리고 이들 상태변수 측정치를 이용한다변량 통계 분석 (multi-variable statistical analysis)[1,2,5] 기법을 이용하면 진공펌프의 상태진단 뿐만 아니라 예지보수 또한 부분적 성공을 경험할 수 있었다는 점이다. | |
최근 10년 사이 건식 진공펌프 시장에서 가장 큰 기술적 과제는 무엇인가? | 최근 10년 사이 건식 진공펌프 시장에서 가장 큰 기술적 과제는 저소비 전력의 신 모델 출시였다. 이들 저소비전력의 펌프들이 실 공정에서 이전 모델보다 향상된 생산성과 내구성을 제공할 지는 아직 시간적 검증이 필요한 상태이다. |
정완섭, "스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발," 1단계 최종보고서, 2011.
정완섭, "스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발," 2단계 최종보고서, 2013.
정완섭, 임종연, 정광화, 이수갑, "진공펌프 트렌드 관측 및 진단 분석 기법", PCT Pub. No: WO2006/064990, 대한민국 특허 10-0882887 (2009), 미국특허 7,664618 (2010), 중국특허 ZL2004.8.0044627.1 (2007), 일본특허 2008-54492 (2008), EU 특허 (영국, 프랑스, 독일) 1, 151 (2012).
정완섭, 임종연, 정광화, 이수갑, "진공펌프 고장방지 및 에지보수를 위한 정밀진단 기술", PCT Pub. No: WO2006/064991, 대한민국 특허 10-0905235 (2009), 미국특허 7,653,512 (2010), 중국특허 ZL2004.8.0044628.6 (2007), 일본특허 2008-54493 (2008), EU 특 허 (영국, 프랑스, 독일) 1, 576 (2012).
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