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일부 반도체 사업장 포토레지스트 화학물질 MSDS 정보의 신뢰성 분석
Reliability Analysis of Material Safety Data Sheets(MSDS) for Photoresist Chemicals used in some Semiconductor Factories 원문보기

한국산업보건학회지 = Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene, v.26 no.4, 2016년, pp.404 - 410  

이경화 (을지대학교 보건환경안전학과) ,  이석용 (SK하이닉스 주식회사 SHE 보건팀) ,  최윤지 (SK하이닉스 주식회사 SHE 보건팀) ,  최한영 (을지대학교 보건환경안전학과)

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Objectives: This study aimed to examine and analyze the material safety data sheet(MSDS) information for photoresist chemicals used in certain processes in semiconductor plants. Methods: After collecting MSDS for 178 chemical products currently used in certain processes in semiconductor plants, we a...

주제어

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문제 정의

  • 따라서 본 연구는 반도체 사업장 일부 공정에서 사용하는 PR(Photo Regist)류 화학물질의 MSDS를 바탕으로 사용하고 있는 화학물질과 영업비밀물질등을 분석하였고, 물질안전 보건자료의 신뢰성 평가지침(KOSHA Guide W-2-2016)을 참고하여 신뢰성 검토를 진행하였다. 이 결과를 바탕으로 반도체 사업장 일부 공정에서 사용하는 화학물질의 종류 및 영업비밀물질에 대한 정보를 분석하였으며, MSDS 신뢰성 검토를 통하여 화학물질 제조⋅공급업체들이 제공하는 MSDS의 문제점들을 분석하였다.
  • 본 연구는 한 반도체 사업장에서 사용하고 있는 화학물질 및 화학물질을 함유한 제제에 대한 MSDS에대한 신뢰성 평가 및 영업비밀물질에 대한 실태를 조사하여 현재 특정 기업에서 관리하고 있는 MSDS 전반적관리 수준을 알아보고자 하였다. 총 178개 화학제품에 대한 MSDS를 분석하여 총 780개 화학물질 및 화학물질을 함유한 제제를 사용 중이며, 그 중 CAS NO를 기준으로 정보를 알 수 있는 화학물질 373(48.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
반도체 산업의 대표적인 공정은 어떻게 나눠지는가? 반도체 산업(semiconductor industry) 핵심 공정은 모래(SiO2)로부터 실리콘(silicon, Si)을 추출하여(웨이퍼 제조 공정) 생산된 전기 특성이 없는 실리콘 웨이퍼(wafer)에 전기적 특성을 부여하는 것이며, 실리콘 웨이퍼 위에 전기 회로를 만들고, 회로화된 수많은 작은 칩들(chips)을 개별 분리하여 제품으로 만들어낸다(Park, 2016). 특히 반도체 산업의 대표적인 공정은 제조된 웨이퍼 표면을 보호하기 위한 산화막을 만드는 산화(oxidation)공정, 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그려 넣는 포토(Photo)공정이 있으며, 포토공정은 다시 감광액 도포(photoresist application)와 노광(photolithography exposure) 단위공정으로 나뉘게 된다. 그 후 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 식각(etching)공정과 전기적 특성을 띄게하는 확산(diffusion)공정, 박막(thin film)공정을 거쳐, 외부에서 얻어지는 전기적 에너지를 소자들끼리 신호가 섞이지 않고 전달되도록 선을 연결하는 작업인 금속 배선 공정으로 나눌 수 있다. 이러한 반도체 제조 공정에서는 수많은 화학물질을 여러 공정에서 사용하기 때문에 공정 특성 및 근로 시간 등에 의하여 근로자들이 화학적 유해인자에 노출될 수 있는 것이 일반적이다.
본 논문에서 조사한 화학물질의 절반 이상이 영업비밀물질로 MSDS에 제대로 정보가 제공되지 않았는데, 이것이 잘못된 이유는 무엇인가? 산업안전보건법 제41조 제2항에 따라 “근로자에게 중대한 건강장해를 초래할 우려가 있는 대상화학물질”로서 동법 제 37조에 따른 제조 등 금지물질, 제38조에 따른 허가대상물질, 산업안전보건기준에 관한 규칙 제420조에 따른 관리대상유해물질, 화학물질관리법에 따른 유독물질 등은 영업비밀 인정 제외 물질에 해당하여, 화학물질의 명칭, 성분 함유량 및 MSDS 정보를 반드시 기입하여야 한다(MoEL, 2016a; MoEL, 2016b; MoEL, 2016c; MoE, 2016a). 하지만 화학물질 및 화학물질을 함유한 제제를 제조 또는 공급하는 업체에서 이를 무시하고 영업비밀로 기재하게 되면, MSDS 정보로부터 화학물질로 인한 사고와 질병의 예방을 하려는 본연의 목적을 지킬 수 없게 된다. Lee et al.
물질안전보건자료란? 이러한 화학물질들의 경우 유해⋅위험성, 물리화학적 특성 및 독성에 대한 정보 등의 부족으로 인해 사람 또는 환경에 노출될 경우, 인명피해는 물론 주변환경과 재산 등 막대한 피해를 입을 수 있으므로, 화학물질에 대한 기본적인 정보를 담고있는 물질안전 보건자료(Material Safety Data Sheet, MSDS)의 관리가 필수적이다. 물질안전보건자료는 산업안전보건법 에 의하여 고용노동부령으로 정하는 분류기준에 해당하는 화학물질 및 화학물질을 함유한 제제를 양도하거나 제공하는 자는 이를 양도받거나 제공받는 자에게 대상화학물질의 명칭, 구성성분의 명칭 및 함유량, 안전⋅보건상의 취급주의 사항, 건강 유해성 및 물리적 위험성 등을 모두 기재한 자료이며(MoEL, 2016a), 세계조화시스템(Global Harmonized System of Classification and Labelling of Chemicals, GHS)기준(UN, 2015)을 따름으로써, 화학물질 정보에 대한 전달 요구가 강화되고 있으며, 국내에서도 화학물질관리법 , 산업안전보건법 에 따라 각각 국민의 지역사회 알권리에 대한 보장과 근로자의 알권리 강화 등이 요구되고 있다(Lee et al., 2016).
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참고문헌 (17)

  1. American Chemical Society(ACS). CHEMLIST(Regulated Chemicals). 2016.9. Available from: URL:http://www.cas.org/ index.html 

  2. Clayton G.D., Clayton F.E., Beliles R.P., David R.M., Morgott D.A., et al. Patty's industrial hygiene and toxicology(volume II, part c). 4 ed. New York, John Wiely & Sons, Inc; 1994. pp. 1735-1786. 

  3. Hong MK, Song SW, Lee KS, Choi SB, Lee JH. A Study of MSDS Reliability Evaluation in Chemicals including Formaldehyde. J of Korean Soc of Occupl and Environ Hyg, 2013;23(3):287-298 

  4. Kolp P, Sattler B, Blayney M, Sherwood T. Comprehensibility of material safety data sheets. American Journal of Industrial Medicine 1993;23:135-141 

  5. Lee KS, Han IS, Han JH, Park DU, Lee DW et al. A Study on the Chemical Composition and MSDS Reliability of Powder Coatings. J of Korean Soc of Occupl and Environ Hyg, 2004;14(3):221-232 

  6. Lee KS, Lee HJ, Hong MK. A study on the Application Status to Trade Secret of GHS MSDSs distributed in the Workplaces and its Improvement Measures. J of Korean Soc of Occupl and Environ Hyg, 2016;26(3):293-300 

  7. Lee KS, Lee JH, Lee HJ. A Study on the Criteria and Supply Status of Information for Managing Carcinogens in Domestic and Foreign. J of Korean Soc of Occupl and Environ Hyg, 2011;21(1):40-48 

  8. Lee KS, Yoon SJ, Choi JW, Kim HO, Lee JH et al. A study on the supply status of chemical substance information including MSDS and a way of improving Database management in Korea. J of Korean Soc of Occupl and Environ Hyg, 2007;17(1):63-70 

  9. Ministry of Employment and Labor(MoEL). Occupational Safety and Health Act. 2016a 

  10. Ministry of Employment and Labor(MoEL). Rules of Occupational Health Standard. 2016b 

  11. Ministry of Employment and Labor(MoEL). Standard for Classification, Labeling of Chemical Substance and Material Safety Data Sheet (MoEL Public Notice No. 2016-19). 2016c 

  12. Ministry Of Environment(MoE). Chemicals Control Act. 2016a 

  13. Occupational Safety and Health Administration(OSHA). Hazard Communication Standard. 29 CFR 1910.1200, Washington,DC; 1998. 

  14. Park DU. Review of Hazardous Agent Level in Wafer Fabrication Operation Focusing on Exposure to Chemicals and Radiation. J of Korean Soc of Occupl and Environ Hyg, 2016;26(1):1-10 

  15. Park JH, Ham SH, Kim SJ, Lee KS, Ha KC et al. Study on the Chemical Management - 1. Chemical Characteristics and Occupational Exposure Limits under Occupational Safety and Health Act of Korea. J of Korean Soc of Occupl and Environ Hyg, 2015;25(1):45-57 

  16. United National(UN). Globally Harmonized System of Classification and Labeling of Chemical(GHS). St/Sg/Ac.10/30/Rev.6, 2015 

  17. United Nations Environmental Programme(UNEP). Strategic Approach to International Chemicals Management(SAICM)-Report of the international conference on chemical management on the work of its fist session. SAICM/ICCM.1/7. 2006. 

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