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NTIS 바로가기한국산업보건학회지 = Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene, v.26 no.4, 2016년, pp.404 - 410
이경화 (을지대학교 보건환경안전학과) , 이석용 (SK하이닉스 주식회사 SHE 보건팀) , 최윤지 (SK하이닉스 주식회사 SHE 보건팀) , 최한영 (을지대학교 보건환경안전학과)
Objectives: This study aimed to examine and analyze the material safety data sheet(MSDS) information for photoresist chemicals used in certain processes in semiconductor plants. Methods: After collecting MSDS for 178 chemical products currently used in certain processes in semiconductor plants, we a...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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반도체 산업의 대표적인 공정은 어떻게 나눠지는가? | 반도체 산업(semiconductor industry) 핵심 공정은 모래(SiO2)로부터 실리콘(silicon, Si)을 추출하여(웨이퍼 제조 공정) 생산된 전기 특성이 없는 실리콘 웨이퍼(wafer)에 전기적 특성을 부여하는 것이며, 실리콘 웨이퍼 위에 전기 회로를 만들고, 회로화된 수많은 작은 칩들(chips)을 개별 분리하여 제품으로 만들어낸다(Park, 2016). 특히 반도체 산업의 대표적인 공정은 제조된 웨이퍼 표면을 보호하기 위한 산화막을 만드는 산화(oxidation)공정, 웨이퍼 위에 반도체 회로를 그려 넣는 포토(Photo)공정이 있으며, 포토공정은 다시 감광액 도포(photoresist application)와 노광(photolithography exposure) 단위공정으로 나뉘게 된다. 그 후 필요한 회로 패턴을 제외한 나머지 부분을 제거하는 식각(etching)공정과 전기적 특성을 띄게하는 확산(diffusion)공정, 박막(thin film)공정을 거쳐, 외부에서 얻어지는 전기적 에너지를 소자들끼리 신호가 섞이지 않고 전달되도록 선을 연결하는 작업인 금속 배선 공정으로 나눌 수 있다. 이러한 반도체 제조 공정에서는 수많은 화학물질을 여러 공정에서 사용하기 때문에 공정 특성 및 근로 시간 등에 의하여 근로자들이 화학적 유해인자에 노출될 수 있는 것이 일반적이다. | |
본 논문에서 조사한 화학물질의 절반 이상이 영업비밀물질로 MSDS에 제대로 정보가 제공되지 않았는데, 이것이 잘못된 이유는 무엇인가? | 산업안전보건법 제41조 제2항에 따라 “근로자에게 중대한 건강장해를 초래할 우려가 있는 대상화학물질”로서 동법 제 37조에 따른 제조 등 금지물질, 제38조에 따른 허가대상물질, 산업안전보건기준에 관한 규칙 제420조에 따른 관리대상유해물질, 화학물질관리법에 따른 유독물질 등은 영업비밀 인정 제외 물질에 해당하여, 화학물질의 명칭, 성분 함유량 및 MSDS 정보를 반드시 기입하여야 한다(MoEL, 2016a; MoEL, 2016b; MoEL, 2016c; MoE, 2016a). 하지만 화학물질 및 화학물질을 함유한 제제를 제조 또는 공급하는 업체에서 이를 무시하고 영업비밀로 기재하게 되면, MSDS 정보로부터 화학물질로 인한 사고와 질병의 예방을 하려는 본연의 목적을 지킬 수 없게 된다. Lee et al. | |
물질안전보건자료란? | 이러한 화학물질들의 경우 유해⋅위험성, 물리화학적 특성 및 독성에 대한 정보 등의 부족으로 인해 사람 또는 환경에 노출될 경우, 인명피해는 물론 주변환경과 재산 등 막대한 피해를 입을 수 있으므로, 화학물질에 대한 기본적인 정보를 담고있는 물질안전 보건자료(Material Safety Data Sheet, MSDS)의 관리가 필수적이다. 물질안전보건자료는 산업안전보건법 에 의하여 고용노동부령으로 정하는 분류기준에 해당하는 화학물질 및 화학물질을 함유한 제제를 양도하거나 제공하는 자는 이를 양도받거나 제공받는 자에게 대상화학물질의 명칭, 구성성분의 명칭 및 함유량, 안전⋅보건상의 취급주의 사항, 건강 유해성 및 물리적 위험성 등을 모두 기재한 자료이며(MoEL, 2016a), 세계조화시스템(Global Harmonized System of Classification and Labelling of Chemicals, GHS)기준(UN, 2015)을 따름으로써, 화학물질 정보에 대한 전달 요구가 강화되고 있으며, 국내에서도 화학물질관리법 , 산업안전보건법 에 따라 각각 국민의 지역사회 알권리에 대한 보장과 근로자의 알권리 강화 등이 요구되고 있다(Lee et al., 2016). |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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