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NTIS 바로가기열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, v.29 no.4, 2016년, pp.163 - 167
송영환 (울산대학교 첨단소재공학부) , 문현주 (울산대학교 첨단소재공학부) , 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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투명전도성 산화물박막은 어디에 활용되고있는가? | In2O3를 근간으로 하는 투명전도성 산화물박막(Transparent Conductive Oxide; TCO)은 낮은 전기비저항과 높은 가시광 투과율로 인하여 현재 다양한 표시소자(display device)와 태양전지 등의 투명전극 재료로 활용되고 있다[1]. 특히 미량의 Sn이 첨가된 In2O3(ITO) 박막은 80% 이상의 높은 가시광 투과율과 낮은 비저항(<1 × 10−3 Ωcm)을 동시에 갖기 때문에 대표적인 TCO 소재로 인정받았으나,근래의 인듐(In) 희소성에 따른 가격상승과 화학적 불안전성으로 인하여 ZnO[2], SnO2[3] 등의 대체 투명전극에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. | |
RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 100 nm 두께의 SnO2 박막을 유리기판에 증착하고 100, 200, 300oC에서 30분간 진공열처리를 하여 열처리에 따른 박막의 전기적, 광학적 특성 변화를 연구한 결과는? | 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 100 nm 두께의 SnO2 박막을 유리기판에 증착하고 100, 200, 300oC에서 30분간 진공열처리를 하여 열처리에 따른 박막의 전기적, 광학적 특성 변화를 연구하였다. 300oC 열처리조건에서 SnO2 박막의 결정화가 확인되었다. 또한 SnO2 박막의 전기적, 광학적 물성을 비교하는 FOM 수치 비교에서, 상온에서 증착된 박막의FOM 수치는 7.5 × 10−4 Ω−1이었으나, 200oC 열처리 이후에 측정한 FOM 수치는 결정화에 따른 가시광투과도 증가로 인하여 최대 2.1 × 10−3 Ω−1로 증가함을 보였다. 본 연구의 분석 및 측정결과로부터 적정온도 200oC 진공열처리 공정이 SnO2 박막의 전기적, 광학적 물성 최적화에 유효함을 알 수 있었다. | |
미량의 Sn이 첨가된 In2O3(ITO) 박막은 어떤 특성으로 인해 TCO 소재로 인정받았는가? | In2O3를 근간으로 하는 투명전도성 산화물박막(Transparent Conductive Oxide; TCO)은 낮은 전기비저항과 높은 가시광 투과율로 인하여 현재 다양한 표시소자(display device)와 태양전지 등의 투명전극 재료로 활용되고 있다[1]. 특히 미량의 Sn이 첨가된 In2O3(ITO) 박막은 80% 이상의 높은 가시광 투과율과 낮은 비저항(<1 × 10−3 Ωcm)을 동시에 갖기 때문에 대표적인 TCO 소재로 인정받았으나,근래의 인듐(In) 희소성에 따른 가격상승과 화학적 불안전성으로 인하여 ZnO[2], SnO2[3] 등의 대체 투명전극에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이중, SnO2 박막은 기존에는 저방사(low-emissivity) 유리[4]와 박막형 가스센서[5]로 사용되었으나, ZnO 또는 ITO 박막 보다 열적, 화학적으로 안정하며 가격 또한 저렴하여, 최근에는 Ta 첨가형[6], Zn 첨가형[7], 그리고 SnO2/Ag/SnO2[8] 적층형 박막에 대한 연구결과가 보고되었다. |
R. Joshi, V. Singh and J. McClure : Thin Solid Films, 257 (1995) 32.
H. M. Lee, Y. J. Lee, Y. S. Kim and D. Kim : Vacuum, 86 (2012) 1494.
S. Yu, W. Zhang, L. Li, D. Xu, H. Dong and Y. Jin : Thin Solid Films, 552 (2014) 150
K. Zakrzewska and M. Radecka : Thin Solid Films, 515 (2007) 8332.
G. Turgut : Thin Solid Films, 594 (2015) 56.
X. Jia, Y. Liu, X. Wu and Z. Zhang : Appl. Surf. Sci., 311 (2014) 609.
L. Liu, S. Ma, H. Wu, B. Zhu, H. Yang, J. Tang and X. Zhao : Mater. Lett., 149 (2015) 43.
G. Haacke : J. Appl. Phys., 47 (1976) 4086.
B. D. Cullity : Elements of X-ray Diffractions, Addition-Wesley, Reading, MA, 1978.
G. Goncalves : Thin Solid Films, 515 (2007) 8562-8566.
허성보 : "전자빔 조사 에너지에 따른 GZO/ $TiO_2$ 박막의 물성변화", 울산대 석사학위논문 (2013) 40-42.
A. Sarkar, S. Ghosh, S. Chaudhuri and A. K. Pal : Thin Solid Films, 204 (1991) 255.
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