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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.17 no.4, 2018년, pp.1 - 5
조준영 (한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부) , 김대희 (한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부) , 김유리 (포항공과대학교 창의IT 융합공학과) , 김기영 (한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부) , 김영철 (한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부)
Atomic force microscopy (AFM) simulation for Si (001) surface defects was conducted by using density functional theory (DFT). Three major defects on the Si (001) surface are difficult to analyze due to external noises that are always present in the images obtained by AFM. Noise-free surface defects ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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Si (001) 표면의 결함 세가지는 무엇인가? | 규소(silicon, Si) (001) 표면은 반도체 칩을 제조하는 공정에서 가장 널리 사용되며, Si 재료가 채택된 1950년대 이후 가장 많은 연구가 진행되어왔던 표면이다. Si (001) 표면은 크게 세 가지의 결함을 보인다: A, B, C 결함. 표면에는 표면 원자들의 재배열을 통하여 2개의 Si 원자로 구성된 다이머 (dimer)들이 배열되어 있다. A는 표면 다이머 1개가 제거된 결함, B는 인접한 다이머 2개가 제거된 결함, C는 인접한 다이머에서 원자가 각각 1개씩 제거된 결함이다[1]. | |
규소(silicon, Si) (001) 표면은 어디에 사용되는가? | 규소(silicon, Si) (001) 표면은 반도체 칩을 제조하는 공정에서 가장 널리 사용되며, Si 재료가 채택된 1950년대 이후 가장 많은 연구가 진행되어왔던 표면이다. Si (001) 표면은 크게 세 가지의 결함을 보인다: A, B, C 결함. | |
원자힘 현미경은 어떤 기술인가? | 원자힘 현미경 (atomic force microscopy, AFM)은 표면과 팁(tip) 사이에 발생하는 힘을 측정하여 이미지로 보여주는 현미경으로 원자 크기 수준에서 표면을 분석할 수 있는 기술이다[2]. 우수한 이미지 해상도를 위해 캔틸레버(cantilever)에 부착되어 있는 AFM 팁은 매우 날카로워야 한다. |
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