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NTIS 바로가기한국산업보건학회지 = Journal of Korean Society of Occupational and Environmental Hygiene, v.29 no.2, 2019년, pp.208 - 216
홍좌령 (삼성전자 건강연구소) , 구재한 (삼성전자 반도체연구소 환경안전그룹) , 박창섭 (삼성전자 반도체연구소 환경안전그룹) , 최광민 (삼성전자 건강연구소)
Objective: The aim of this study is to control residual chemicals or by-products generated in chambers during preventive maintenance (PM) in the semiconductor manufacturing industry. We designed local exhaust ventilation using computational fluid dynamics (CFD). Methods: The air flow characteristics...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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예방적 유지보수는 어떠한 작업인가? | 반도체 제조 공정에서 생산 수율 향상 및 안정적인 생산 운영을 위해 반드시 필요한 작업 중의 하나가 예방적 유지보수(Preventative Maintenance, PM)이다. 설비 고장 방지 및 유지, 보수를 위해 주기적으로 진행 하며, PM시 챔버를 오픈하여 부품을 교체하고 챔버 내부를 물 또는 에탄올을 적신 와이퍼로 닦아 내는 등의 작업을 한다. 이 때 챔버 내에 잔류하는 반응물이나 화학물질간의 반응에 의해 부산물이 생성될 경우 작업자 노출이 발생할 수 있다(Park et al. | |
메탈 (metallization)공정은 무엇인가? | 반도체 소자들을 동작시키고 이들의 신호가 섞이지 않게 메탈을 이용해 선을 연결하는 작업을 메탈 (metallization)공정이라 하고, 메탈공정의 반응 챔버를 수치해석 모델로 사용하였다. 반응 챔버는 직경 60 cm, 높이 100 cm인 원통형이며, 실제 반응 공정은 챔버 뚜껑이 닫힌 진공상태에서 진행된다. | |
사전 예방작업을 해야하는 이유와 어떠한 방법이 있는가? | 고집적 반도체 제조를 위해 기술 난이도가 증가하고 공정 기술의 미세화가 진행됨에 따라 금속 및 유기물을 포함하는 화학물질의 사용이 다양해지고 있는 추세이다. 사용 화학 물질이 공정 챔버 내 잔류하거나 화학물질 간 반응에 의해 생성된 부산물이 생성될 가능성이 있고, 이는 제품 불량을 유발할 수 있기 때문에 사전 예방작업으로 배기 시스템을 가동하거나 생산 및 부대설비의 유지/보수 작업을 진행한다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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