[논문]반도체 소재 제조 공정에서 아세트산 취급 작업 시 발생한 화재·폭발 사고 예방대책에 관한 연구

이대준; 김상령; 김상길; 박교식; 이준원

doi:10.7842/kigas.2023.27.2.65

반도체 소재 제조 공정에서 아세트산 취급 작업 시 발생한 화재·폭발 사고 예방대책에 관한 연구
A study on Preventive Measures for Fire and Explosion Accidents During Acetic Acid Handling in Manufacturing the Semiconductor Material 원문보기

한국가스학회지 = Journal of the Korean institute of gas, v.27 no.2, 2023년, pp.65 - 70

이대준 (숭실대학교 안전보건융합공학과) , 김상령 (안전보건공단) , 김상길 (안전보건공단) , 박교식 (숭실대학교 안전보건융합공학과) , 이준원 (숭실대학교 안전보건융합공학과)

초록
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반도체 공급설비에 사용되는 인화성 물질은 고온·고압에서 제조되는데, 반도체 산업이 정밀화, 대형화되면서 사용되는 물질의 양도 급격히 증가하고 있다. 최근 반도체 소재 제조 공정에서 제품을 만들기 위한 원료인 아세트산 취급 작업 도중 화재·폭발이 발생하였는데, 원료의 물리화학적 특성 인식 부족, 원재료 간의 이상반응 가능성 검토 부족, 스플래쉬 필링이 일어날 수 있는 설비의 장치 부족, 화재·폭발 예방을 위한 공기 유입 방지 부족 등 전체적으로 문제점이 파악되었다. 따라서 본 연구에서는 발생한 사고의 원인을 정확히 파악하고, 인화성 액체를 다량 취급하는 공정에서 발생할 수 있는 화재·폭발을 예방하기 위하여 Hopper와 같은 설비 구축, AOPS 구성설치, 근로자의 인식 변화까지 다양한 관점에서 의견을 제시하고자 한다.

Abstract ▼ AI-Helper

Flammable materials used in semiconductor supply facilities are manufactured at high temperatures and high pressures, and as the semiconductor industry becomes more sophisticated and larger, the amount of materials used is rapidly increasing. Recently, fires and explosions occurred during the handling of acetic acid, which is a raw material for making products in the semiconductor material manufacturing process. Overall problems such as lack of air inflow prevention for fire and explosion prevention were identified. Therefore, in this study, in order to accurately identify the cause of the accident and prevent fire and explosion that may occur in the process of handling large amounts of flammable liquids, opinions from various perspectives, such as construction of facilities such as hoppers, installation of AOPS components, and change in workers' perceptions would like to present.

주제어

표/그림 (7)

표 Table 1. Explosion incident cases at batch reactor
그림 Fig. 1. MIE for monodisperse sprays on-Methanol.
그림 Fig. 2. Flexible hose destroyed by accident.
그림 Fig. 3. TNT over pressure curve.
그림 Fig. 4. Dust supply device manufactured in the form of a hopper.
그림 Fig. 5. Inside the wrecked reactor.
그림 Fig. 6. AOPS Fail Safe Design and AOPS Valve Loss of Motive Power Alarm [14].

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상세보기
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