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반도체 제조공정에서 발생하는 실리콘 슬러지의 이산화티타늄 코팅을 통한 안료 및 도료 소재로의 응용
Application of Silicon Sludge from Semiconductor Manufacturing Process as Pigments and Paints through Titanium Dioxide Coating 원문보기

유기물자원화 = Journal of the Korea Organic Resources Recycling Association, v.31 no.3, 2023년, pp.35 - 41  

추연룡 (한밭대학교 화학생명공학과) ,  사민기 (한밭대학교 화학생명공학과) ,  김지원 (한밭대학교 화학생명공학과) ,  제갈석 (한밭대학교 화학생명공학과) ,  김찬교 (한밭대학교 화학생명공학과) ,  김하영 (한밭대학교 화학생명공학과) ,  이송 (한밭대학교 창의융합학과) ,  심형섭 (세종대학교 항공우주공학과) ,  윤창민 (한밭대학교 화학생명공학과)

초록
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본 연구에서는 반도체 제조공정에서 발생하는 실리콘 슬러지에 금속산화물인 이산화티타늄을 코팅하였으며, 이를 안료 및 도료의 소재로 응용하였다. 상세히는, 불순물이 제거된 판상형의 실리콘 슬러지 분말에 졸-겔법을 통해 이산화티타늄을 코팅하였다. 안료 및 도료의 소재로서 응용 가능성을 확인하기 위해서 친수성 투명 코팅제에 분산하여 페인트를 제조한 후 유리 기판에 분사하였다. 그 결과, 이산화티타늄의 도입으로 인한 발림성 향상과 하얀색의 발현을 확인할 수 있었다. 본 연구를 통해서 실리콘 슬러지에 이산화티타늄을 코팅함으로써 발림성 및 친수성이 향상됨을 확인하였으며, 이를 통해서 반도체 공정에서 발생하는 실리콘 슬러지가 안료 및 도료의 소재로서 응용 가능성을 확인하였다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this study, silicon sludge generated in semiconductor manufacturing process is recycled and applied as materials for pigments and paints. In detail, metallic impurities are removed from silicon sludge to obtain plate-like silicon sludge powder (SW-sludge), which is then coated with titanium dioxi...

주제어

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참고문헌 (17)

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