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세라미스트 = Ceramist, v.22 no.4, 2019년, pp.368 - 380
이수정 (한국지질자원연구원)
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A ceramic is used as a key material in various fields. Accordingly, the use of scanning electron microscopy is increased for the purpose of evaluating the reliability and defects of advanced ceramic materials. The scanning electron microscope is developed to overcome the limitations of optical micro...
| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 전자현미경이란 무엇인가? | 전자현미경은 이름 그대로 전자(electron)를 광원으로 사용하여 관찰하려는 대상의 확대된 상(image)을 얻는 현미경이다. 전자빔이 시료를 투과하는가 또는 투과하지 않고 표면을 주사(scan)하는가에 따라 전자현미경은 크게 투과전자현미경(transmission electron microscope, TEM)과 주사전자현미경(scanning electron microscope, SEM)으로 나뉜다. | |
| 전자현미경이 발명된 이유는 무엇인가? | 전자현미경(electron microscope)은 광학현미경(optical microscope)의 분해능 한계를 극복하기 위해 발명되었다.6) 광학현미경의 분해능은 광원인 빛의 파장에 의해 결정된다는 Abbe의 법칙이 증명됨으로서, 광학 렌즈의 결함이 완벽하게 개선되더라도 빛보다 파장이 더 짧은 광원을 사용하지 않는 한 광학현미경의 분해능은 더 이상 개선될 수 없다는 것이 드러났기 때문이다. | |
| 인렌즈형 검출기의 구조적 특징은 무엇인가? | 전계방출형 에미터의 개발과 함께 새롭게 등장한 2차전자 검출기로 인렌즈(in-lens) 또는 쓰루 렌즈(throughlens)라고 부르는 형태가 있다. 이름처럼 2차전자 검출기가 렌즈 내부에 위치함으로서 E-T 검출기보다 2차전자와 후방산란전자를 효과적으로 구분하여 검출할 수 있고 공간 분해능이 우수하다.8) 특히 동일한 분석 조건에서 E-T 검출기로는 볼 수 없는 표면의 특징을 구분할 수 있다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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