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반도체 제조공정 미세먼지-질소산화물 동시 저감을 위한 오존 고속산화공정 최적화 연구
Optimization of an Ozone-based Advanced Oxidation Process for the Simultaneous Removal of Particulate Matters and Nitrogen Oxides in a Semiconductor Fabrication Process 원문보기

공업화학 = Applied chemistry for engineering, v.32 no.6, 2021년, pp.659 - 663  

엄성현 (고등기술연구원 플랜트공정개발센터) ,  이승준 ((주)플라즈마텍 부설연구소) ,  고은하 ((주)플라즈마텍 부설연구소) ,  홍기훈 (고등기술연구원 플랜트공정개발센터) ,  황상연 (고등기술연구원 플랜트공정개발센터)

초록
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반도체 제조공정에서 발생하는 미세먼지와 질소산화물 동시처리를 위하여 오존산화, 습식중화 및 습식전기집진 기술들을 직접화한 10 CMM급 복합오염물질 제거시스템을 개발하였으며, NOx 제거효율 증대를 위한 공정변수 제어 및 최적화를 진행하였다. 특히, 전원공급장치를 포함한 습식전기집진장치 핵심부품 안정성 평가를 위해 30일 동안의 장기운전도 병행하였다. 오존산화 기반 DeNOx 공정에서 가장 중요한 운전변수인 O3/NO 비율은 1.5 부근에서 최적화하였으며, 습식중화 공정의 운전변수를 최적화하여 중화반응에 의한 제거효율 기여도를 확인하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

10 m3/min (CMM) multi-pollutants abatement system was successfully developed by effectively integrating ozone oxidation, wet scrubbing, and wet electrostatic precipitation for the simultaneous removal of particulate matters (PMs) and NOx in a semiconductor fabrication process. The sophisticated cont...

주제어

#Air pollution control   #Ozone oxidation   #Wet electrostatic precipitation   #NOx   #Particulate matters  

표/그림 (5)

참고문헌 (11)

  1. H-W. Park, W. B. Cha, and S. Uhm, Highly Efficient Thermal Plasma Scrubber Technology for the Treatment of Perfluorocompounds (PFCs), Appl. Chem. Eng., 29, 10-17 (2018). 

  2. H. Yamasaki, Y. Koizumi, T. Kuroki, and M. Okubo, Plasma-Chemical Hybrid NOx Removal in Flue Gas from Semiconductor Manufacturing Industries Using a Blade-Dielectric Barrier-Type Plasma Reactor, Energies, 12, 2717 (2019). 

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  3. S. Uhm, G. H. Hong, and S. Hwang, An Ozone-based Advanced Oxidation Process for an Integrated Air Pollution Control System, Appl. Chem. Eng., 32, 237-242 (2021). 

  4. H-W. Park, and S. Uhm, Various Technologies for Simultaneous Removal of NOx and SO 2 from Flue Gas, Appl. Chem. Eng., 28, 607-618 (2017). 

    원문보기 상세보기

  5. F. Lin, Z. Wang, Z. Zhang, Y. He, Y. Zhu, J. Shao, D. Yuan, G. Chen, and K. Cen, Flue gas treatment with ozone oxidation: An overview on NOx, organic pollutants, and mercury, Chem. Eng. J., 382, 123030 (2020). 

    상세보기

  6. R. Ji, J. Wang, W. Xu, X. Liu, T. Zhu, C. Yan, and J. Song, Study on the Key Factors of NO Oxidation Using O 3 : The Oxidation Product Composition and Oxidation Selectivity, Ind. Eng. Chem. Res., 57, 14440-14447 (2018). 

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  7. Z. Han, T. Zou, J. Wang, J. Dong, Y. Deng, and X. Pan, A Novel Method for Simultaneous Removal of NO and SO 2 from Marine Exhaust Gas via In-Site Combination of Ozone Oxidation and Wet Scrubbing Absorption, J. Mar. Sci. Eng., 8, 943 (2020). 

  8. M. S. Kang, J. Shin, T. U Yu, and J. Hwang, Simultaneous removal of gaseous NOx and SO 2 by gas-phase oxidation with ozone and wet scrubbing with sodium hydroxide, Chem. Eng. J., 381, 122601 (2020). 

    상세보기

  9. Z. Han, J. Wang, T. Zou, D. Zhao, C. Gao, J. Dong, and X. Pan, NOx Removal from Flue Gas Using an Ozone Advanced Oxidation Process with Injection of Low Concentration of Ethanol: Performance and Mechanism, Energ. Fuels, 34, 2080-2088 (2020). 

  10. F. Lin, Z. Wang, Q. Ma, Y. He, R. Whiddon, Y. Zhu, and J. Liu, N 2 O 5 formation mechanism during the ozone-based low-temperature oxidation deNOx process, Energ. Fuel, 30, 5101-5107 (2016). 

  11. J. Kuropka, Removal of nitrogen oxides from flue gases in a packed column, Environ. Prot. Eng., 37, 13-22 (2011). 

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