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딥러닝 기반의 TSV Hole TCD 계측 방법
Deep Learning Based TSV Hole TCD Measurement 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.20 no.2, 2021년, pp.103 - 108  

정준희 (인천대학교 임베디드시스템공학과) ,  구창모 ((주)넥스틴) ,  조중휘 (인천대학교 임베디드시스템공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The TCD is used as one of the indicators for determining whether TSV Hole is defective. If the TCD is not normal size, it can lead to contamination of the CMP equipment or failure to connect the upper and lower chips. We propose a deep learning model for measuring the TCD. To verify the performance ...

주제어

#TSV   #Deep Learning   #Metrology  

참고문헌 (12)

  1. Victor H. Vartanian, Richard A. Allen, Larry Smith, Klaus Hummler, Steve Olson, and Brian C. Sapp, "Metrology needs for through-silicon via fabrication", Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 13(1), 011206 (27 February 2014). 

    상세보기

  2. Arun A. Aiyer, Tianheng Wang, and Helen Simson, "Optical inspection technologies for 3D packaging", https://www.researchgate.net/publication/283489453_Optical_Inspection_Technologies_for_3D_Packaging, 2015. 

  3. Kaiming He, Xiangyu Zhang, Shaoqing Ren, and Jian Sun, "Deep Residual Learning for Image Recognition", arXiv:1512.03385v1 [cs.CV], 2015. 

  4. T.J Atherton, D.J. Kerbyson, "Size invariant circle detection", Image and Vision Computing. Volume 17, Number 11, 1999, pp. 795-803. 

    상세보기 crossref

  5. Ashardi Abas, Xun Chen, "COIL CHAMFER DIAMETER MEASUREMENT IN HELICAL SPRING BASED ON A HUGH TRANSFORM ALGORITHM", 4th International Conference on Artificial Intelligence and Computer Science, November 2016. 

  6. Ali Ajdari Rad, Karim Faez, and Navid Qaragozlou, "Fast Circle Detection Using Gradient Pair Vectors", Proc. VIIth Digital Image Computing: Techniques and Applications, Sun C., Talbot H., Ourselin S. and Adriaansen T. (Eds.), 10-12 Dec. 2003, Sydney. 

  7. J. P. Lewis, "Fast Template Matching", Vision Interface, pp. 120-123, 1995. 

  8. Dirk-Jan Kroon, "Numerical Optimization of Kernel Based Image Derivatives", Short Paper, University of Twente, 2009. 

  9. Sung Joo Kim, Kim Gyung Bum, "A Study on the Classification of Surface Defect Based on Deep Convolution Network and Transfer-learning", Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 20, No. 1, March 2021. 

  10. Sung-jin Hwang, Seok-woo Hong, Jong-seo Yoon, Heemin Park, Hyun-chul Kim, "Deep Learning-based Pothole Detection System", Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 20, No. 1, March 2021. 

  11. Song-Yeon Lee, Yong Jeong Huh, "A Study on Shape Warpage Defect Detecion Model of Scaffold Using Deep Learning Based CNN", Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 20, No. 1, March 2021. 

  12. Diederik P. Kingma, Jimmy Ba, "Adam: A Method for Stochastic Optimization", Proceedings of the 3rd International Conference on Learning Representations, 2015. 

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