최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.21 no.2, 2022년, pp.32 - 37
김황규 (명지대학교 전자공학과) , 양진우 (명지대학교 전자공학과) , 강석호 (명지대학교 정보통신공학과) , 최대호 (명지대학교 전자공학과) , 홍상진 (명지대학교 전자공학과)
As semiconductors become finer, equipment must perform precise and accurate processes to achieve the desired wafer fabrication requirement. Radio frequency power delivery system in plasma system plays a critical role to generate the plasma, and the role of impedance matching unit is critical to term...
H. Y. Jang, "Semiconductor/Display Manufacturing Process Plasma Foundation and Application", The Korean Information Display Society, Vol. 12, No. 5, pp. 2-15, 2011.
K. H. Jang, "A Study on the Implementation of 13.56 MHz Automatic Impedance Matching Circuit", Master's Thesis, Kwangwoon University, 2014.
W. J. Jang, I. S. Yeo, J. W. Lee, T. S. Jang, S. W. Gu, B. I. Lee, D. G. Choi, N. J. Kim, S. D. Choi, I. Y. Lee, S. I, Wee, and D. C. Kim, "13.56MHz RF Generator and Auto Matching System", Interim Report of the First Year of the Ministry of Trade and Industry, pp. 8-11, 1996.
K. H. Jang, S. Y. Park, J. J. Cho, and D.-H. Lee "Error Rate Enhancement Algorithm for 13.56 MHz Impedance Automatic Matching System", J. Kor. Inst. Electromagnetic Eng. Sci., Vol. 29, No. 7, pp. 55-60, 2020.
I. P. Hong, "Microwave Engineering Understood by Principles", Hanbit Academy, 2015.
D. Y. Jeong, C. W. Nam, J. H. Lee, D. G. Choi, and C. Y. Won, "CCP-ICP Composite Impedance Matching Device for Improving Uniformity of Semiconductor Plasma Etching System", The Korean Institute of Power Electronics, Vol. 15, No. 4, pp. 274-277, 2010.
W. S. Kang, "A Study on the Double Impedance Matching Technique for Improving the Efficiency of RF Systems with Variable Impedance", Ph.D. Thesis, Konkuk University, 2018.
D. G. Choi and C. Y. Won, "Automatic Matching Circuit for Plasma Generation", The Korean Institute of Power Electronics, Vol. 7, No. 1, pp.16-20, 2002.
D. G. Choi and W. J. Jang, "Plasma Generator & Auto Matching Network", Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers 1995 Autumn Conference, pp. 60-63, 1995.
S. D. Choi, "RF Generator", The Transactions of Korean Institute of Power Electronics, Vol 7, No. 1, pp. 12-15, 2002.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.