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NTIS 바로가기열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, v.36 no.3, 2023년, pp.137 - 144
장태환 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과) , 박진혁 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과) , 권영우 (부산대학교 나노융합기술학과) , 조보람 (한국생산기술연구원 대경지역본부 스마트제조기술연구그룹) , 김태규 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과)
Micro electro mechanical systems (MEMS) and precision machines require excellent friction and wear characteristics to improve energy efficiency generated during sliding motion. In this study, DLC thin film with high hardness and low friction was deposited on STS304 substrate material by CVD method, ...
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