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자외선 조사를 이용한 SnO2 나노입자/Pd 촉매층을 갖는 GaN 기반 수소 센서의 안정성 개선 연구
Improved Stability of GaN-based Hydrogen Sensor with SnO2 Nanoparticles/Pd Catalyst Layer Using UV Illumination 원문보기

반도체공학회 논문지 = Transactions on semiconductor engineering, v.1 no.1, 2023년, pp.9 - 13  

최원태 (Department of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University) ,  오희재 (Department of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University) ,  김정진 (ChipsK Co., Ltd.) ,  차호영 (Department of Electronic and Electrical Engineering, Hongik University)

초록
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본 연구에서는 SnO2 나노입자와 Pd 금속의 이중층으로 구성된 촉매층을 갖는 AlGaN/GaN 이종접합 기반의 상온동작 수소센서를 제작하여 해당 센서의 안정성 개선 연구를 수행하였다. 제작된 센서를 고온 환경이 아닌 상온에서 수소에 노출 및 차단을 반복하며 동작 시켰을 때 시간에 따라 대기전류가 감소하는 불안정한 전류 드리프트 (current drift) 현상이 발생하였지만, 자외선 (UV) 조사를 함께 진행하면서 반복 측정을 하였을 때 해당 불안정성의 가시적인 개선 효과를 이루었다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

An AlGaN/GaN heterojunction-based hydrogen sensor with SnO2 nanoparticles/Pd catalyst layer was fabricated for room-temperature hydrogen detection. The fabricated sensor exhibited unstable drift in standby current when it was operated at room temperature. The instability in the sensing signal was dr...

주제어

#AlGaN/GaN heterojunction   #Hydrogen   #Ultra Violet   # $SnO_2$ Nanoparticle   #Response  

참고문헌 (13)

  1. G. Chung, H.Y. Cha, and H. Kim, "Enhanced？Hydrogen Sensitivity of AlGaN/GaN Heterojunction Gas Sensors by GaN-Cap Layer,"？Electronics Letters, 2018, Vol. 54, No. 14,？pp.896-897 

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  2. P. Agnolucci, "Economics and Market Prospects of Portable Fuel Cells," International？Journal of Hydrogen Energy 2007, Vol. 32, pp.？4319-4328 

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  3. R.A. Felseghi, E. Carcadea, M. S. Raboaca,？R.N. Trufin, and C. Filote, "Hydrogen Fuel？Cell Technology for the Sustainable Future of？Stationary Applications 

  4. J.H. Choi, T.A. Vuong, H.T. Kim, and H.Y.？Cha, "High-Sensitivity Hydrogen Sensor？Based on AlGaN/GaN Heterojunction Field-Effect Transistor," in Journal of Nanoscience？and Nanotechnology, 2020, 20, pp. 4404-4408 

    상세보기

  5. T.A. Vuong, H.Y. Cha, and H.T. K, "Response？Enhancement of Pt-AlGaN/GaN HEMT Gas？Sensors by Thin AlGaN Barrier with the？Source-Connected Gate Configuration at High？Temperature," in Micromachines 2021, 12,？pp.537. 

  6. C.C. Ndaya, N. Javahiraly, and A. Brioude,？"Recent Advances in Palladium Nanoparticles-Based Hydrogen Sensors for Leak Detection,"？Sensors, vol.19, no.20, 2019, pp.4478 

    상세보기

  7. W.T. Koo, S.Qiao, et al., "Accelerating Palladium Nanowire H 2 Sensors Using Engineered？Nanofiltration," 2017, 11, pp.9276-9285 

  8. X. Li, Y., Liu, et al, "Catalytically Activated？Palladium@ Platinum Nanowires for Accelerated Hydrogen Gas Detection. ACS Nano？2015, 9, pp.3215-3225 

  9. B. Yuliarto, "SnO 2 Nanostructure as Pollutant？Gas Sensors: Synthesis, Sensing Performances,？and Mechanism", 2015, 

  10. W.T. Choi, T.H. Park, J.H.Hur, J.J. Kim, and？H.Y. Cha, "Improved Response Characteristics？of GaN-Based Hydrogen Sensor with SnO 2 ？Nanoparticles," in The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science, 2022. 33(2), pp.92-97 

  11. S. T. Hung, C. J. Chang, et al., "SnO 2 Functionalized AlGaN/GaN high electron mobility？transistor for gydrogen sensing applications,"？International Journal of Hydrogen Energy,？vol18, no. 18, pp.1378213788 

  12. A.Varghese, A. Eblabla, and K. Elgaid, "Modeling and Simulation of Ultrahigh Sensitive？AlGaN/AlN/GaN HEMT-Based Hydrogen Gas？Detector with Low Detection Limit," IEEE？Sensors Journal, 2021, vol.21, No.13,？pp.15361 

  13. T.B. Flanagan, "The Palladium-Hydrogen System," 1991, 21, pp.269-304 

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