[논문]Frequency dependence of ultrasonic cleaning

doi:10.1016/0041-624X(86)90105-8

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[해외논문] Frequency dependence of ultrasonic cleaning

Ultrasonics, v.24 no.5, 1986년, pp.273 - 280

McQueen, D.H. (Chalmers Innovation Center, Chalmers University of Technology, 412 96 Gö)

Abstract ▼ AI-Helper

Abstract The frequency dependence of ultrasonic cleaning efficiency has been investigated both theoretically and experimentally for frequencies from ≈ 25 to ≈ 250 kHz. Theoretically it is useful to divide contaminants into two groups: microscopic contaminants and submicroscopic contaminants. Microscopic contaminants are best removed by lower frequency ultrasound, while submicroscopic contaminants are often best removed by ultrasound at higher frequencies. Experimental support for these conclusions is given, including ultrasonic removal of blood clots, fingerprints, proteins and grinding pastes. The shapes of many of the decontamination versus time curves are compatible with the theoretical models, which include diffusion and chemical reaction kinetics.

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참고문헌 (13)

RCA Review Shwartzman 46 81 1985 Megasonic particle removal from solid-state wafers

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Koontz 23 1959 An ultrasonic system for eliminating physical contamination from electron devices
Sov Phys Acoust Poddubnyi 24 355 1979 Electrolytic method for the quality control of acoustic cleaning
Ultrasonics McQueen 24 49 1986 10.1016/0041-624X(86)90074-0 Electrochemical evaluation of ultrasonic cleaning: the Galvani potential

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Material and Electron Device Processing Schimmel 46 1961 10.1520/STP41223S Detection of inorganic contamination on surfaces by an EMF measurement
Materials and Electron Device Processing Feder 53 1961 10.1520/STP41224S Electrode potential: A tool for the control of materials and processes in electron device fabrication. I. EMF-time series of clean and contaminated platinum electrodes
Materials and Electron Device Processing Feder 67 1961 10.1520/STP41225S Electrode potential: A tool for the control of materials and processes in electron device fabrication. II. EMF studies of the behavior of 30 per cent nickel-iron alloy in hydrogen peroxide-formic acid etchants
Phys Reports Neppiras 61 159 1980 10.1016/0370-1573(80)90115-5 Acoustic cavitation

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10.1016/S0022-5193(86)80169-2 Stenberg, M., Stiblert, L. and Nygren, H. External diffusion in solid-phase immunoassays J Theor Biol in press

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Morse 1960 Theoretical Acoustics
Science Bell 200 618 1978 10.1126/science.347575 Models for the specific adhesion of cell to cells

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Ultrasonics Colclough 6 21 1968 10.1016/0041-624X(68)90012-7 The chemistry of solvents used for ultrasonic cleaning

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Acustica McQueen 35 316 1976 On the problem of wrapping and lagging noisy piping

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