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NTIS 바로가기Sensors and actuators, v.20 no.3, 1989년, pp.315 - 316
Smith, R.L. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of California, 95616, Davis, CA, U.S.A.) , Collins, S.D.
A simple, inexpensive and reliable wafer-to-wafer alignment technique is presented for use in the fabrication of microsensors and microactuators. The technique provides +/-5 μm alignment precision and requires no special optical or mechanical fixtures....
Sensors and Actuators White 13 391 1988 10.1016/0250-6874(88)80051-9 Inexpensive and accurate two-sided semiconductor wafer alignment
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