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NTIS 바로가기Materials science forum, v.433/436, 2003년, pp.185 - 188
Saitoh, Hiroaki (Toyota Motor Corporation) , Kimoto, Tsunenobu (Kyoto University) , Matsunami, Hiroyuki (Kyoto University)
초록이 없습니다.
http: /www. infineon. com.
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[1] [2] [3] [4] [5] 1014 1015 1016 1017 1018.
50 60 70 80 Growth Rate [μm/h] Donor Concentration [cm-3] Distance from Susceptor Entrance [mm] <Flow Direction>.
mm diameter.
[1] [2] [3] [4] [5] 1014 1015 1016 1017 1018 Growth Rate [μm/h] Donor Concentration [cm-3] Distance from Wafer Center [mm] <Vertical Direction>.
10.
20 20.
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