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NTIS 바로가기Microelectronic engineering, v.46 no.1, 1999년, pp.369 - 373
A bilayer reist system developed by Olin Microelectronic Materials, consisting of a UV curable polystyrene bottom coat and a silicon loaded UV sensitive positive tone top coat (‘bamboo resist’), has been investigated for its sensitivity and resolution in electron beam lithography, an...
J. Photopolym. Sci. Technol. Goethals 11 3 513 1998 10.2494/photopolymer.11.513
F.C.M.J.M. van Delft and F.G. Holthuysen, (this conference).
van Delft 35 75 1997 MNE'96 (Glasgow)
van Delft 41/42 387 1998 proc. MNE'97 (Athens)
A.M. Goethals, J. Vertommen, T. Sugihara, F. van Roey and L. van den Hove, proceedings EIPBN '98 (Chicago), J. Vac.Sci.Technol.B (in print).
van Delft 30 361 1996 proc. MNE'95 (Aix-en-Provence)
Janssen 37 1991 Mechanical properties of Bamboo
Manders 362 1996 Proc. 11th Intl. Symp. on Plasma Proc.
Jap. J. of Appl. Phys. Fujiwara 29 10 2223 1990 10.1143/JJAP.29.2223
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