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Benchmarking SOI and bulk FinFET alternatives for PLANAR CMOS scaling succession

Solid-state electronics, v.54 no.9, 2010년, pp.855 - 860  

Chiarella, T. (Corresponding author. Tel.: +32 16 28 86 05) ,  Witters, L. (fax: +32 16 281844.) ,  Mercha, A. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Kerner, C. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Rakowski, M. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Ortolland, C. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Ragnarsson, L.-Å. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Parvais, B. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  De Keersgieter, A. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Kubicek, S. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Redolfi, A. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Vrancken, C. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Brus, S. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Lauwers, A. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Absil, P. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Biesemans, S. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Hoffmann, T. (IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

AbstractThe multi-gate architecture is considered as a key enabler for further CMOS scaling thanks to its improved electrostatics and short-channel effect control. FinFETs represent one of the architectures of interest within that family together with Ω-gates, Π-gates, gate-all-around&helli...

주제어

참고문헌 (17)

  1. 10.1109/VTSA.2009.5159300 Parvais B, Mercha A, Collaert N, Rooyackers R, Ferain I, Jurczak M et al. The device architecture dilemma for cmos technologies: opportunities & challenges of finFET over planar MOSFET. VLSI-TSA; 2009. p. 80-1. 

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