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Rapid-Thermal Annealing of Amorphous Silicon on Oxide Semiconductors

IEICE transactions on electronics, v.E93.C no.10, 2010년, pp.1495 - 1498  

SAXENA, Saurabh (Advanced Display Research Center, Kyung Hee University) ,  JANG, Jin (Advanced Display Research Center, Kyung Hee University)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Crystallization of amorphous silicon on oxide semiconductors using rapid-thermal annealing in vacuum is investigated. A 30nm n-type amorphous silicon (a-Si) is deposited on zinc-oxide (ZnO) and aluminum doped zinc-oxide (ZnO: Al) by PECVD on glass substrate. Rapid-thermal annealing for 30min to 180m...

주제어

참고문헌 (15)

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  2. 10.1149/1.2735921 [2] Y.H. Tai, S.C. Huang, C.W. Lin, and H.L. Chiu, “Degradation of the capacitance-voltage behaviors of low-temperature polysilicon TFTs under DC stress,” J. Electrochem. Soc., vol.154, no.7, pp.H611-H618, 2007. 

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  15. [15] K.Y. Lee, C. Becker, M. Muske, F. Ruske, S. Gall, B. Rech, M. Berginski, and J. Hüpkes, “Temperature stability of ZnO: Al film properties for poly-Si thin-film devices,” Appl. Phys. Lett., vol.91, 241911, 2007. 

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