[논문]High performance MIM capacitor using anodic alumina dielectric

Hourdakis, E.; Nassiopoulou, A.G.

doi:10.1016/j.mee.2011.03.020

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High performance MIM capacitor using anodic alumina dielectric

Microelectronic engineering, v.90, 2012년, pp.12 - 14

Hourdakis, E. , Nassiopoulou, A.G.

Abstract ▼ AI-Helper

We report on the fabrication and electrical characterization of MIM capacitors using barrier type anodic alumina dielectric between Al electrodes. Its fabrication is based on CMOS compatible room temperature processing using electrochemistry which is a simple and cost effective process. The obtained capacitors exhibit large capacitance density (above 7fF/μm2) and very small leakage current for a voltage range between -2V and 2V (below the background noise of our measurement system). The electrical characteristics of the capacitor are directly compared to those attained previously by the authors using porous anodic alumina instead of the barrier type one. It is shown that there is a significant improvement in both the value of the capacitance density and the value of the non-linearity coefficient α.

주제어

참고문헌 (15)

ITRS Roadmap 2009 Edition. http://www.itrs.net/Links/2007ITRS/Home2007.htm.
Microelectron. Eng. Farcy 85 1940 2008 10.1016/j.mee.2008.03.017

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IEEE Electron. Dev. Lett. Hu 24 60 2003 10.1109/LED.2002.807703

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IEEE Electron. Dev. Lett. Cheng 29 845 2008 10.1109/LED.2008.2000833

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IEEE Electron. Dev. Lett. Chen 23 185 2002 10.1109/55.992833

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IEEE Trans. Electron Dev. Ng 52 1399 2005 10.1109/TED.2005.850642

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IEEE Electron. Dev. Lett. Cho 29 684 2008 10.1109/LED.2008.2000911

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J. Appl. Phys. Miao 104 054510 2008 10.1063/1.2973687

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Appl. Phys. Lett. Mikhelashvili 90 013506 2007 10.1063/1.2425030

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Appl. Phys. Lett. Mikhelashvili 92 132902 2008 10.1063/1.2905273

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Appl. Phys. Lett. Wu 93 033511 2008 10.1063/1.2958238

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Appl. Phys. Lett. Lee 91 243514 2007 10.1063/1.2825288

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IEEE Electron. Dev. Lett. Kim 25 538 2004 10.1109/LED.2004.832785

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IEEE Trans. Electron. Dev. Hourdakis 57 5535075 2010 10.1109/TED.2010.2058350

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