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[해외논문] Power reduction for recovery of a FinFET by electrothermal annealing

Solid-state electronics, v.151, 2019년, pp.6 - 10  

Han, Joon-Kyu (Corresponding author.) ,  Park, Jun-Young ,  Choi, Yang-Kyu

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Abstract A strategy of reducing the power consumption to cure gate dielectric damage by electrothermal annealing (ETA) is proposed. A tri-gate FinFET was fabricated to demonstrate the damage curing by the ETA. Localized Joule heat induced by high current flowing through dual gate electrodes success...

주제어

참고문헌 (19)

  1. IEEE Trans Electron Devices Hisamoto 47 2320 2000 10.1109/16.887014 FinFET-A self-aligned double-gate MOSFET scalable to 20 nm 

  2. IEEE J Solid-State Circuits Hu 20 295 1985 10.1109/JSSC.1985.1052306 Hot-electron-induced MOSFET degradation-model, monitor, and improvement 

  3. IEEE Trans Electron Devices Onishi 50 384 2003 10.1109/TED.2002.807447 Improvement of surface carrier mobility of HfO2/MOSFETs by high-temperature forming gas annealing 

  4. Appl Phys Lett Lyding 68 2526 1996 10.1063/1.116172 Reduction of hot electron degradation in metal oxide semiconductor transistors by deuterium processing 

  5. Tech Dig - Int Electron Devices Meet IEDM Lue 199 2012 Radically extending the cycling endurance of Flash memory (to > 100M Cycles) by using built-in thermal annealing to self-heal the stress-induced damage 

  6. Tech Dig - Int Electron Devices Meet IEDM Moon 794 2016 Sustainable electronics for nano-spacecraft in deep space missions 

  7. Comsol multiphysics user's guide, Comsol Inc., Burlington, MA, USA; 2011. 

  8. IEEE Electron Device Lett Moon 35 1236 2014 10.1109/LED.2014.2365235 A novel FinFET with high-speed and prolonged retention for dynamic memory 

  9. Appl Phys Lett Urakawa 102 2013 10.1063/1.4790619 Thermal analysis of amorphous oxide thin-film transistor degraded by combination of joule heating and hot carrier effect 

  10. Microelectron Reliab Fiege 38 957 1998 10.1016/S0026-2714(98)00086-9 Failure analysis of integrated devices by scanning thermal microscopy (SThM) 

  11. Int J Thermophys Ryu 36 1217 2015 10.1007/s10765-014-1681-6 Surface-temperature measurement and submicron defect isolation for microelectronic devices using thermoreflectance microscopy 

  12. Sci Rep Park 6 1 2016 Controllable electrical and physical breakdown of poly-crystalline silicon nanowires by thermally assisted electromigration 

  13. Appl Phys Lett Ju 74 3005 1999 10.1063/1.123994 Phonon scattering in silicon films with thickness of order 100 nm 

  14. J Appl Phys Tai 63 1442 1988 10.1063/1.339924 Thermal conductivity of heavily doped low-pressure chemical vapor deposited polycrystalline silicon films 

  15. Solid-State Electron Pergamon Press Maycock 10 161 1967 10.1016/0038-1101(67)90069-X Thermal conductivity of silicon, germanium, Iii-V xompounds and Iii-V alloys 

  16. ACS Nano Choi 6 2378 2012 10.1021/nn2046295 Physical observation of a thermo-morphic transition in a silicon nanowire 

  17. Kasper 1995 Properties of strained and relaxed silicon germanium 

  18. Bhandari 1995 CRC handbook of thermoelectrics 

  19. IEEE Electron Device Lett Park 37 843 2016 10.1109/LED.2016.2574341 Local electro-thermal annealing for repair of total ionizing dose-induced damage in gate-all-around MOSFETs 

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