[논문]Deposition Rate Monitoring using Laser Induced Fluorescence

Reiley, Timothy C.; Marinero, Ernesto E.; Notarys, Harris

doi:10.1557/PROC-282-683

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ABSTRACTUltra thin films (< 10 nm) prepared using sputtering or other deposition techniques are becoming more technologically important, with promise of increased importance in the future, particularly in certain magnetic structures. For example, giant-magnetoresistive structures may incorporate ind...

ABSTRACTUltra thin films (< 10 nm) prepared using sputtering or other deposition techniques are becoming more technologically important, with promise of increased importance in the future, particularly in certain magnetic structures. For example, giant-magnetoresistive structures may incorporate individual layers having a thickness < 1 nm. Such a small thickness is commonly associated with relatively short deposition times (∼10 s) and may place limits on the reproducibility and accuracy of the conventional techniques for in situ thickness monitoring or integrated rate monitoring. Experiments have been performed to use laser induced fluorescence (LIF) as a rate monitoring technique for ultra thin films. An RF diode sputtering system was combined with a YAG-pumped, frequency-doubled dye laser to monitor the deposition rale of copper over a range of conditions. When coupled with an absolute calibration reference, the LIF signal gave a reproducible, well-behaved output over a range of pressure and temperature. The technique is potentially advantageous for depositions where rapid (∼1 s) measurements are needed. LIF is also projected to be a valuable tool for detecting very low deposition rates, and it offers the potential of sensitive, real time, spatially-resolved detection in time regimes extending to the nanosecond regime.

참고문헌 (11)

Marinero, E. E., Jones, C. R.. Time-resolved detection of Cu atoms during photochemical laser metal vapor deposition. The Journal of chemical physics, vol.82, no.3, 1608-1609.

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Eckstein, E.W., Coburn, J.W., Kay, E.. Diagnostics of an r.f. sputtering glow discharge - correlation between atomic absorption and mass spectrometry. International journal of mass spectrometry and ion physics, vol.17, no.2, 129-138.

상세보기
Fleddermann, C. B.. Optical emission spectroscopy during sputtering of Y-Ba-CU-oxide targets. Journal of applied physics, vol.67, no.8, 3815-3820.

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Page, Ralph H., Gudeman, Christopher S., Novotny, Vlad J.. Glow-discharge optical spectroscopy as a diagnostic of sputtered permalloy film composition and saturation magnetostriction. Journal of applied physics, vol.65, no.9, 3586-3596.

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Dieny, B., Speriosu, V. S., Metin, S., Parkin, S. S. P., Gurney, B. A., Baumgart, P., Wilhoit, D. R.. Magnetotransport properties of magnetically soft spin-valve structures (invited). Journal of applied physics, vol.69, no.8, 4774-4779.

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Baibich, M. N., Broto, J. M., Fert, A., Van Dau, F. Nguyen, Petroff, F., Etienne, P., Creuzet, G., Friederich, A., Chazelas, J.. Giant Magnetoresistance of (001)Fe/(001)Cr Magnetic Superlattices. Physical review letters, vol.61, no.21, 2472-2475.

상세보기
Greene, J. E., Sequeda-Osorio, F., Natarajan, B. R.. Glow discharge optical spectroscopy for microvolume elemental analysis. Journal of applied physics, vol.46, no.6, 2701-2709.

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Klein, J. D., Yen, A.. Optical monitoring of ion beam Y-Ba-Cu-O sputtering. Journal of applied physics, vol.68, no.9, 4879-4881.

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Surface Chemistry and Beam-Solid Interactions 201 587 1990 Metzger
Plasma Processing 68 95 1986 Donnell
Parkin, S. S. P., Bhadra, R., Roche, K. P.. Oscillatory magnetic exchange coupling through thin copper layers. Physical review letters, vol.66, no.16, 2152-2155.

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