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자장 여과 진공 아크 소스에서 음극 부근의 자기장에 따른 아크 스팟 안정성 연구
EFFECT OF MAGNETIC FIELD STRUCTURE NEAR CATHODE ON THE ARC SPOT STABILITY OF FILTERED VACUUM ARC SOURCE OF GRAPHITE 원문보기

한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집, 1999 July 01, 1999년, pp.138 - 138  

김종국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센타, 서울대학교 원자핵공학과) ,  이광렬 (한국과학기술연구원 박막기술연구센타) ,  은광용 (한국과학기술연구원 박막기술연구센타) ,  정기형 (서울대학교 원자핵공학과)

초록
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자장 여과 진공 아크법(Filtered Vacuum Arc :FVA)에 의해 증착된 비정질 다이아몬드 박막은 기계적, 광학적 특성이 매우 우수하여 많은 연구자들의 관심의 대상이 되어 왔다. 그러나 아크의 불안정성은 자장 여과 아크 소스의 연속적인 운전을 제한하고, 결과적으로 낮은 생산성을 가져왔다. 본 연구에서는 음극의 형태 및 음극 부근에서의 자기장의 구조를 음극 부식 거동의 관점에서 수치모사 및 실험을 통해서 조사하였다. 소스 전자석과 인출 전자석의 자극 방향이 평행하게 된 구조에서 (magnetic mirror configuration), 음극 후면에 반대 방향의 자극을 가지는 영구자석을 돔으로서 아크 불안정성을 억제할 수 있었다. 또한 소스 전자석에 진동하는 전류를 인가함으로써 아크 스팟의 운동 면적을 효과적으로 확장할 수 있었다. 시간 변화에 따른 빔 전류의 변화로부터 테이프형 음극이 우물형 음극에 비하여 더 안정하다는 것을 확인하였다. 진동하는 소스 전자석의 전류와 직경 80mm의 테이퍼형 음극을 사용하여, 아크 전류 60A에서 약 2000분 동안 사용하였으며, 이때 부식된 부피는 사용 가능한 음극 부피의 약 90%였다. 그리고 약 350mA의 안정한 빔 전류를 현재의 조건에서 얻었다.

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