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문제 정의
- 점이 많이 있었다. 본 논문에서는 미러반사구조를가진 MRPBI System을 이용한 평행광 노광방식을 제안하였고 비가시광 이미지소자 어레이의 성능향상을 위해 3D MEMS 안테나 에레이를 제조하는 방안을 제시하였다. 또한 여러 가지의 3D MEMS 안테나 형태 중에서 더욱 효과적인 안테나의 성능을 검증 할수 있는 안테나 소자 자체의 Simulatiorr을 HFSS(High Frequenc- ey Structure Simulator)를 이용해서 전체적인 안테 4 Gain과 Directivity의 비교분석 하였다.
- 본 논문에서는 지금까지의 노광방식 과는 다른 새로운 노광 방식인 MRPBKMirror Reflected Parallel Beam Illuminator)System을 이용한 노광 방식으로서 3차원 MEMS 안테나를 제작하는 방법에 대해 제시한다.
- 또한 수평 구조적 형태의 노광기의 척은 혼 모양의 3차원 미소구조 안테나를 제작하기엔 어 려운 단점이 있었다. 본 연구에서는 Feed Horn 모양의 3D MEMS 안테나를 제조하기 위해서 마스크와 웨이퍼가 결합된 척을 경사된 상태에서 초 저속 회전을 하면서 노광하는 노광방식을 제안하였다. High Aspect Ratio 구조물을 제조하기 위해서 반드시요구되어지는 평행광을 유도하기 위해서 계산된 노광기의 형태는 비교적 높은 수직 경통구조를 띄게 되는 단점을 가지고 있다.
- 따타서 보편적인 실험장소에서는 평행 광을 얻기 위한 특수구조의 노광기률 설치하기에는 장소적인 문제가 존재한다. 하지만 미러 반사를 이용하여 수평 구조형 경통 구현을 통한 노광기 크기의 축소 제작 방법에 관한 것을 제시한다. 그림2.
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