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NTIS 바로가기한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집, 2003 June 01, 2003년, pp.78 - 81
최재영 (부산대 대학원 정밀정형) , 김초윤 (부산대) , 박재홍 , 정해도
Polishing Processes are widely used in the glass, optical, die and semiconductor industry and are conventionally carried out using abrasive slurry and a polishing pad. But abrasive slurry process has a weak point that is high cost of handling of used slurry and hard controllability of slurry. Rece...
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