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NTIS 바로가기한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집, 2003 June 01, 2003년, pp.196 - 198
이재종 (한국기계연구원) , 최기봉 (한국기계연구) , 정광조 (한국기계연구원)
Classical lithography in semiconductor employs stepper technologies. Limits of this technology are clearly seen at structures below 100nm. Nano-imprinting lithography is a new method for generating patterns in submicron range at reasonable cost. In order to manufacture nano-imprinting lithography(NI...
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