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문제 정의
- 본 연구는 FAB 공정 중 단위공정과 단위공정 사이에서 이루어지는 작업을 라인자동화를 통한 새로운 모델을 적용해서 단위공정에서 소요되는 시간을 단축함으로써, 반도체 제조의 생산성 향 상 및 공기단축을 목적으로 했으며, 구성은 다음과 같다. 2장에서는 FAB 공정과 단위공정에 대한 설명을 하고, 3장에서는 단위공정 분석을 하 고, 4장에서는 ID Reader를 이용한 단위공정 자 동화 모델을 제 안하고, Test 및 분석을 하고, 5장 에서는 연구결과 및 향후 연구 진행 방향을 제시 하였다.
- 작업자의 동선을 줄이고 TrackTn시간을 줄이 기 위해서 OI를 사용하지 않으려면, 01의 TrackTn기능을 자동화의 다른 모듈에서 처리를 해야한다. 본 연구에서는 EIP에서 01의 Track- In기능을 할 수 있는 방법을 고려해 보았다. 이를 위해서는 MES와 EIP간의 시나리오를 변경 해야 하고, Lotld를 인식할 수 있는 장치(본 연구에서는 Bar Code Reader# 사용했다.
- )가 필요 하고 또한 이것을 제어할 수 있는 Application0! 필요하다. 본 연구에서는 EIP에서 BCR도 제어 할 수 있도록 했다. BCR 을 이용한 Track-In 과정을 본 연구에서는 Auto Track Tn 이라고 명명 한다
가설 설정
- 그러나 실제 생 산성 증대에 관련된 것은 기대했던 것보다는 영향을 적게 미친다. 왜냐하면, 설비에 Lot을 투입 할 수 있는 Port가 두개라고 가정하자. 설비의한 쪽 Port에서 이미 어떤 공정을 진행하고 있다면, 다른쪽 Port 에 아무리 Track Tn 을 빨리하더라도 이 Lote 먼저 진행하고 있던 공정이 끝날 때까 지는 설비의 Port에서 대기해야 하기 때문이다.
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