[논문]RF 마그네트론 스퍼터 기법에 의해 제조된 nc-Si의 나노구조 및 광학적 특성

한규호; 박명범; 조남희

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[국내논문] RF 마그네트론 스퍼터 기법에 의해 제조된 nc-Si의 나노구조 및 광학적 특성
Investigation of the Nano-structural and Optical Features of nc-Si Films Grown by RF Magnetron Sputter Techniques 원문보기

한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집, 2002 Oct. 18, 2002년, pp.114.2 - 114.2

한규호 (인하대학교 재료공학부) , 박명범 (육군 3사관학교 신소재) , 조남희 (인하대학교 재료공학부)

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