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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17, 2004 Nov. 11, 2004년, pp.81 - 84
김인성 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹) , 민복기 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹) , 송재성 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹)
The NiCr is an important material for present thin-film resistor application owing to its low TCR and thermal stability. In this work, the NiCr thin films were deposited on coming glass substrate by reactive magnetron sputtering and the annealing at temperatures range from 300 to
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