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제안 방법
- AZO 박막은 RF power 60W, 증착 두께 1000a 으로 고정하고 증착압력을 1.1><1(尸 torr 에서 3.7X10-3 torr 으로 변화 시켜 증착하였으며 IT0 박막은 RF power 80W, 증착압력 4.0X10-3 torr, 증착 두께 1000A으로 증착하였다. 또한 투명 전도체 산화물인 IT0와 AZ0 박막 사이에 Ag 박막을 RF power 60W, 증착압력 3.
- %)를사용하였다. Target 의 표면 세정을 위하여 AZO target은 15분 , Ag target은 10분 , 은ITO target 은 15분 동안 각각 pre-sputter를 실시하였다. 소다 라임 유리 기판은 초음파 세척기를 이용하여 acetone 과 ethanol 중에서 각각 10분씩 세척하고 증류수를 이용하여 린스 후 질소가스로 건조 시켰다.
- 본 실험에서는 ITO/Ag 박막과 AZO/Ag 박막의. 광학적 특성을 개선하기 위하여 소다 라임 유리 기판 위에 ITO/Ag/AZO 다층박막과 AZO/Ag/1 TO 다층박막을 RF 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 제작함에 있어, AZO 의 증착 압력에 따른 전기적 광학적 특성을 살펴보고 증착된 박막이 투명전극으로 쓰이기에 알맞은 낮은 면저항과 높은 광 투과율이 관찰되는 조건을 찾아 그 원인을 분석하여 보았다.
- 0X10-3 torr, 증착 두께 1000A으로 증착하였다. 또한 투명 전도체 산화물인 IT0와 AZ0 박막 사이에 Ag 박막을 RF power 60W, 증착압력 3.0X10-3 torr 두께 100厶 의 조건으로 형성 시켜 총 3 층으로 구성된 ITO/Ag/ITO 다층박막의 적층 순서 및 AZ0 박막의 증착 압력에 따른 전기적 광학적 특성의 변화를 살펴보았다.
- 본 실험에서 이 ass 기판 위에 ITO/Ag/AZO 및 AZO/Ag/ITO 다층박막의 증착 시 AZO 압력에 따른 광학적 전기적 특성 변화를 관찰하고 최상의 증착 조건을 찾은 결과는 다음과 같다.
- 분석을 위하여 사용한 장비는 증착막의 두께를 측정하기 위하여 surface prof i ler(Tencor, P- 2)를 이용하였으며 광학적 특성을 평가하기 위하여 UV spectrophotometer (Var ian, cary-500)를이 용하여 광 투과율을 측정 하였다 . 성 막된 IT0/Ag/AZ0, AZO/Ag/IT0 다층박막의 결 정 구조를 알아보기 위하여 X-ray diffraction (Rigaku, RTP 300 RC) 측정을 실시하였고 전기적 특성을 평가하기 위하여 4-point probe (Guardian, 402S) 오卜 ha I I effect measurement (Ecopia, HMS- 3000) 를 이용하여 각각 면저항과 비저항 및 캐리어 농도와 홀 이동도를 관찰하였다.
- 용하여 광 투과율을 측정 하였다 . 성 막된 IT0/Ag/AZ0, AZO/Ag/IT0 다층박막의 결 정 구조를 알아보기 위하여 X-ray diffraction (Rigaku, RTP 300 RC) 측정을 실시하였고 전기적 특성을 평가하기 위하여 4-point probe (Guardian, 402S) 오卜 ha I I effect measurement (Ecopia, HMS- 3000) 를 이용하여 각각 면저항과 비저항 및 캐리어 농도와 홀 이동도를 관찰하였다.
대상 데이터
- 기존의 IT0 및 AZO 단층 박막의 전기적 광학적 특성을 개선하기 위한 노력으로 Ag 박막을 전체 박막의 중간에 삽입시키는 ITO/Ag 및 AZO/Ag 다층구조에 대한 연구개발이 활발하게 이루어지고 있다. 본 실험에서는 ITO/Ag 박막과 AZO/Ag 박막의. 광학적 특성을 개선하기 위하여 소다 라임 유리 기판 위에 ITO/Ag/AZO 다층박막과 AZO/Ag/1 TO 다층박막을 RF 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 제작함에 있어, AZO 의 증착 압력에 따른 전기적 광학적 특성을 살펴보고 증착된 박막이 투명전극으로 쓰이기에 알맞은 낮은 면저항과 높은 광 투과율이 관찰되는 조건을 찾아 그 원인을 분석하여 보았다.
- 이용하여 소다 라임 유리 기판에 증착하였다. 초기 진공도는 로터리 펌프와 확산 펌프를 이용하여 1.
- 이용하여 소다 라임 유리 기판에 증착하였다. 초기 진공도는 로터리 펌프와 확산 펌프를 이용하여 1.2X10-5 torr 을 유지하였고 sputter ing target은 직경과 두께가 각각 2 in, 1 /4 in size 의 AZO (AI203 2wt.% + ZnO 98wt.%)와 Ag (99.95%), 그리고 ITO (In203 90wt.% + Sn02 10 wt.%)를사용하였다. Target 의 표면 세정을 위하여 AZO target은 15분 , Ag target은 10분 , 은ITO target 은 15분 동안 각각 pre-sputter를 실시하였다.
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