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NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회, 2007 June 08, 2007년, pp.104 - 108
이영광 (한양대학교 공과대학 전기공학과) , 이민형 (한양대학교 공과대학 전기공학과) , 정진욱 (한양대학교 공과대학 전기공학과)
This paper reviews a simple model and spectroscopic method for extracting plasma electron temperature and argon metastable number density. The model is based on the availability of experimental relative emission intensities of only four argon lines that originate from 4p argon level. In this method,...
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