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[국내논문] 레진의 경화 반응을 고려한 UV-NIL공정의 열특성에 관한 실험 및 수치해석 연구
Experiment and Numerical Study on Thermal Characteristics of UV-NIL Process Considering the Cure Kinetics of Photo-polymer 원문보기

대한기계학회 2008년도 추계학술대회A, 2008 Nov. 05, 2008년, pp.1847 - 1850  

김우송 (국민대학교 기계공학과) ,  박경서 (국민대학교 기계공학과) ,  남진현 (국민대학교 기계자동차공학부) ,  임흥재 (국민대학교 기계자동차공학부) ,  장시열 (국민대학교 기계자동차공학부) ,  이기성 (국민대학교 기계자동차공학부) ,  정재일 (국민대학교 기계자동차공학부) ,  임시형 (국민대학교 기계자동차공학부) ,  신동훈 (국민대학교 기계자동차공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The process conditions during ultraviolet nanoimprint lithography (UV-NIL) process such as temperature, stamping pressure, UV irradiation, etc. are effective factors for successful imprinting of complex and fine patterns. In this study, the effects of aluminum mold on the thermal characteristics of ...

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문제 정의

  • 본 연구에서는 레진의 발열 할 때 글래스와 몰드의 열전달 차이가 발생하는 것을 실험과 시뮬레이션을 통하여 비교 분석하였다. 이 결과는 자외선을 이용한 나노 임프린트 공정장비의 공정 정밀도를 향상시키기 위해 최적의 환경을 구축하는데 목적이 있으며, 나노 임프린트 공정장비 구축에 기본 자료로 활용될 수 있을 것이다.
  • 레진의 발열특성 및 글래스와 알루미늄 몰드의 열전달 차이에 따른 온도변화를 알아보기 위하여 모델링을 하였다. UV-NIL과정을 1차원으로 표현하면 Fig 1과 같다.
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