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NTIS 바로가기대한기계학회 2008년도 추계학술대회A, 2008 Nov. 05, 2008년, pp.1957 - 1962
김진우 (고려대학교 기계공학부 대학원) , 김재춘 (고려대학교 기계공학부 대학원) , 이준엽 (고려대학교 기계공학부 대학원) , 정진택 (고려대학교 기계공학부)
As a field of MEMS, micro-heater fabricated by Au is being introduced and developed in recent years. Previous studies about thermal properties of various forms of micro-heater were not sufficient. In this work, numerical and experimental analysis of the heat generation and the temperature distributi...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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가스 센서, 진공 센서, 유량/유속 센서 등을 최적화된 동작온도를 유지한 상태에서 작동하기 위하여 미세발열체인 무엇이 개발되고 있는가? | 최근 미세가공기술의 발달로 각종 전기-전자, 기계시스템이 소형화 되고 있는 바 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)의 한 분야로서 Au를 이용한 마이크로 히터의 제작과 성능에 대한 연구들이 활발히 진행되고 있다. 이와 더불어 가스 센서, 진공 센서, 유량/유속 센서 등을 최적화된 동작온도를 유지한 상태에서 작동하기 위하여 미세발열체인 마이크로 히터가 개발되고 있다.(1,2) 현재까지 실리콘 미세가공기술을 이용한 마이크로 히터의 제작 및 동작특성에 관한 연구가 가속화되고 있으나, 히터의 형상에 따른 마이크로 히터 모듈의 열적 특성에 관한 연구는 미비한 상태이다. | |
정상상태에 도달한 마이크로 히터 모듈의 온도를 측정하기 위하여 전력이 인가된 후 10초후의 온도분포를 측정 한 결과는? | 정상상태에 도달한 마이크로 히터 모듈의 온도를 측정하기 위하여 전력이 인가된 후 10초후의 온도분포를 측정하였다. 외기온도는 26도였고 습도는 52%였다. Fig. | |
실리콘 미세가공기술을 이용한 무엇에 관한 연구가 가속화되고 있는가? | 이와 더불어 가스 센서, 진공 센서, 유량/유속 센서 등을 최적화된 동작온도를 유지한 상태에서 작동하기 위하여 미세발열체인 마이크로 히터가 개발되고 있다.(1,2) 현재까지 실리콘 미세가공기술을 이용한 마이크로 히터의 제작 및 동작특성에 관한 연구가 가속화되고 있으나, 히터의 형상에 따른 마이크로 히터 모듈의 열적 특성에 관한 연구는 미비한 상태이다.(3) MEMS에 기초한 마이크로 히터는 그 형상에 따라 서로 다른 열 특성을 지니게 되므로 각 벽면에서의 열 출입량과 전체적인 열 손실량을 정확히 예측하고 검증하는 작업은 발열량 및 온도분포에 있어서 보다 효율적인 마이크로 히터 형상을 제시할 것으로 기대된다. |
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