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문제 정의
- 다음으로 인덕터 도체의 너비 변화에 대해 고찰해 본다. 주파수는 2 GHz로 고정하여 설정하고, 인덕터 도체의 turn수는 5 turn, 인덕터 도체의 두께는 0.
- 마지막으로 인덕터 도체와 실리콘 기판 사이의 기생용량 성분에 대해서 고찰해 본다. 모든 조건은 위의 내용들과 동일하게 설정하고, 인덕터 도체의 turn수만 변화하여 도체와 실리콘 기판사이의 기생용량에 대해서 살펴보았다.
- 본 논문에서는 스파이럴 인덕터가 가지는 구조적 특이성과 와전류 및 대류 전류와 같은 복잡한 전자기 현상들을 고려한 특성을 예측하고자 하였다. 따라서 특이한 구조나 복잡한 구조에 적용이 용이한 유한요소법을 이용하여 정확한 해석 결과를 예측하였다.
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