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[국내논문] 다이아몬드상 탄소박막의 조도에 미치는 Si Interlayer의 영향
Effect of Si Interlayer on the Roughness of Diamond-like Carbon Films 원문보기

한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집, 2007 Nov. 12, 2007년, pp.37 - 38  

정재인 (포항산업과학연구원, 설비.자동화연구센터) ,  양지훈 (포항산업과학연구원, 설비.자동화연구센터) ,  박영희 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소) ,  이경황 (포항산업과학연구원 울산산업기술연구소)

초록
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Si Interlayer의 두께가 DLC (Diamond-like Carbon) 박막의 조도 및 미세 조직에 미치는 영향을 AFM 및 TEM을 이용하여 조사하였다. DLC 박막은 이온빔 소스를 이용하여 벤젠가스를 플라즈마 분해하여 기판에 증착하였고 기판에는 2kV의 펄스전원을 인가하였다. 기판은 Si Wafer와 초경을 이용하였으며 초경의 경우 평균조도가 20nm이하가 되도록 연마하여 사용하였다. Si Interlayer는 스퍼터링 소스를 이용하여 제조하였고 증착 시간에 따라 두께를 달리하여 약 90nm까지 변화시켰다. Si Interlayer만 증착하였을 경우 조도에 큰 차이를 나타내었으나 Interlayer 위에 DLC가 코팅되면 조도가 감소하여 Si 두께와는 상관이 없는 것으로 나타났다. 본 연구에서는 Interlayer에 두께에 따른 조도변화와 함께 피막의 조직 및 경도 변화 등에 대해 고찰하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 그러나 Interlayer를 접착층으로 이용할 경우 DLC 박막의 특징으로 알려진 표면조도에 영향을 주게 된다. 본 연구에서는 이온빔 방식의 DLC 박막 제조 장치를 이용하여 Si Interlayer의 두께에 따른 DLC 박막을 제조하고 Interlayer 두께에 따른 표면조도 및 피막 형상의 변화를 관찰하였다. 제조된 박막의 표면조도는 AFM을 이용하였으며 미세조직은 TEM을 이용하였다.
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