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문제 정의
- 본 사에서는 양산용 ALD 장비 개발과 함께 다양한 연구 분야에 적합한 기능들을 부여한 R&D 전용 Lucida series ALD 장비를 개발하여 소개하고자 한다. 또한 반도체분야 이외에 최근 많이 연구되고 있는 다양한 나노 구조체의 형성을 위한 ALD 공정 기술을 소개하고자 한다.
- 본 사에서는 양산용 ALD 장비 개발과 함께 다양한 연구 분야에 적합한 기능들을 부여한 R&D 전용 Lucida series ALD 장비를 개발하여 소개하고자 한다. 또한 반도체분야 이외에 최근 많이 연구되고 있는 다양한 나노 구조체의 형성을 위한 ALD 공정 기술을 소개하고자 한다.
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