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Diamond-like Carbon의 stainless steel 합성시 전처리 효과
Effect of pre-treatment for synthesis of diamond-like carbon on stainless steel 원문보기

한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21, 2008 Nov. 06, 2008년, pp.272 - 272  

백일호 (성균관대학교 정보통신공학부) ,  윤덕용 (성균관대학교 정보통신공학부) ,  박용섭 (성균관대학교 정보통신공학부) ,  최은창 (성균관대학교 정보통신공학부) ,  홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)

초록
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Diamond-like carbon (DLC) 박막은 높은 경도, 내 마모성, 화학적 안정성, 전기적 절연성, 높은 광 투과성을 가지고 있어, 공구강, 광학렌즈 및 플라스틱의 보호 코팅을 위해 응용되어진다. 하지만, DLC 박막은 높은 잔류응력으로 adhesion이 떨어진다는 단점이 있다. 따라서 본 연구에서는 전처리가 13.56MHz 150W RF플라즈마 화학기상 증착(RF-PECVD) 법을 통한 DLC 박막의 합성에 어떤 영향을 미치는지 알아보기 위해, $H_2$ (80 sccm), $O_2$ (10 sccm), $N_2$ (20 sccm)의 다른 가스를 사용하여 전처리를 하였다. DLC 박막 합성 후, 특성은 Raman, scratch test, contact angle 등의 측정을 통하여 분석되었다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 실험에서는 플라즈마 화상기상 증착 (PECVD) 법을사용하여 stinless ste아 기판에 DLC룰 합성하였고, 전처리 시 주입되는 가스의 종류를 변화 시켜 그 변화에 따른 DLC의 특성을 분석하여 전처리:가 DLC 박막 합성에 미치는 영향을 연구하였다.

가설 설정

  • 접착력을 높일 수 았다는 것도 보고되었다[4]. 이에 전처리가 DLC 합성 시에 잔류응력을 낮추고 기판과의 접착성을 높이는 효과를 보일 것이라고 가정하고 연구하였다.
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