$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[국내논문] 박막 재료의 면저항 측정기 개발
A Development of Sheet Resistance Meter for Thin Film Materials 원문보기

한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집 Vol.10, 2009 June 18, 2009년, pp.233 - 234  

강전홍 (한국표준과학연구원) ,  유광민 (한국표준과학연구원) ,  김한준 (한국표준과학연구원) ,  한상옥 (충남대학교)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

박막 재료의 면저항 측정은 일반적으로 FPP(Four-Point Probe)원리를 적용한 측정기률 사용하고 있다. 개발된 면저항 측정기의 특징은 dual configuration 기술을 적용하여 탐침 간격에 대한 시료의 크기 및 두께에 대한 보정계수를 고려하지 않아도 되므로 누구나 업고 정확하게 사용 할 수 있다. 측정범위는 $1\;m{\Omega}{/\square}\;{\sim}\;1\;G{\Omega}{/\square}$이며, 반복성과 재현성직선성은 0.1 %이하로서 우수한 특성을 나타냈다. 또한 기존의 면저항 측정기에 적용된 single configuration 기술에서 나타나는 가장자리 효과의 단점을 dual configuration 기술을 적용하여 해결하였고 정밀 정확도를 향상시켰다. 개발된 면저항 측정기의 특성평가는 국가측정표준으로부터 소급성이 유지된 표준저항, 분할저항기, 면저항 인증표준물질 등을 사용하였다.

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

제안 방법

  • 것으로 알려져 있다. 또한 해우 고가여서 경제적인 부담과 축정기에 문제가 발생한 경우 신속한 대응이 어려우므로 외산에 비해 저렴하고 동등 이상의 성능을 갖는 면저항 측정기의 국산화 *발아 절실히 요구된다, 따라서 누구나 쉽고 정확하게 사용 할 수 있는 dual configuration 기술을 적용한 면저항 측정기詈 개발하였다.
  • 측정기의 전류원은 10 nA, 100 nA, 1 10 虬 100 以, 1 澈, 10 mA, 100 mA 이며, 측정 전압은 10 mV 〜100 mV 범위에서 흑정되도록 하였다. 측정기능믄 저항(R), 면저항(Q/않q.
  • 한다. 따라서 개발된 면저항 측정기의 성능평가률 위해 국가측정표준으로부터 저항의 소급성이 유지된 분할저항기 (decade resistor, model: ESI DB62, 불홖도: 0.005 %)룔 사용하여 저항(R)기능을 평가하였다. 반복성, 안정도 및 재현성, 평가는 면저항측정기 p「아)e의 4단자와 분할저항기의 4단자에 연결한 후 측정을 반복하여 특성을 확인하였으며, 그 결과 이하의 정확도를 나타냈다.
  • 반복성, 안정도 및 재현성, 평가는 면저항측정기 p「아)e의 4단자와 분할저항기의 4단자에 연결한 후 측정을 반복하여 특성을 확인하였으며, 그 결과 이하의 정확도를 나타냈다. 또한 측정 정확도는 국가 측정표준의 소급성이 유지된 면저항 표준기준물을 이용하여.특성을 확인하였으며帰 그 결과 0.
  • 박막재료의 면저항율 누구나 쉽고 정확하게 측정할 수 있는 면저항 측정기를 개발하였다. 측정기능은 저항(R), 면저항(Q/sq) 비저항(Q心)이며 면저항의 츢정범위는 1 mQ/sq.

이론/모형

  • Four-Point 円아圮법의 원리를 바탕으로 sin이e 및 dual configuration 기술을 적용하여 설계 제작하였다. 측정기의 전류원은 10 nA, 100 nA, 1 10 虬 100 以, 1 澈, 10 mA, 100 mA 이며, 측정 전압은 10 mV 〜100 mV 범위에서 흑정되도록 하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로