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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집 Vol.3 No.2, 2002 July 08, 2002년, pp.976 - 979
김태엽 (한국전자통신연구원 정보저장소자팀) , 김약연 (한국전자통신연구원 정보저장소자팀) , 손영준 (한국전자통신연구원 정보저장소자팀) , 한기평 (한국전자통신연구원 정보저장소자팀) , 백문철 (한국전자통신연구원 정보저장소자팀) , 김해성 (동국대학교 MINT 센터) , 신동훈 (동국대학교 MINT 센터) , 이진구 (동국대학교 MINT 센터)
A focusing grating coupler (FGC) was not fabricated by the 'Continuous Path Control' writing strategy but by an electron-beam lithography system of more general exposure mode, which matches not only the address grid with the grating period but also an integer multiple of the address grid resolution ...
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