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[국내논문] 반도체장비유지보수 자격개발에 관한 연구
Study on the Development of Qualification for Semiconductor Machine Maintenance 원문보기

한국산학기술학회 2011년도 추계학술논문집 1부, 2011 Dec. 09, 2011년, pp.25 - 28  

강석주 (한국산업인력공단 자격출제원) ,  강명헌 ((주)이더)

초록
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본 연구는 반도체 산업에서 반도체장비유지보수에 사용되어지는 반도체장비 유지보수 분야의 전문기술인력을 효과적으로 양성할 수 있는 반도체장비 유지보수의 자격종목을 개발하고자 하는데 그 목적이 있다. 연구의 목적을 달성하기 위하여 반도체장비 유지보수 분야의 국내외 실태 조사, 문헌조사를 통하여 반도체장비 유지보수 관련 교육훈련기관 및 검정 수요 예상 인력을 파악했으며, 유사자격제도(전자부품장착기능사, 전자부품장착산업기사, 생산자동화기능사, 생산자동화산업기사 등)를 분석하였고, 직무분석을 통하여 반도체장비유지보수기능사의 직무 및 교육내용을 분석하였다. 또한 반도체장비 유지보수 자격종목 신설에 대한 설문조사를 실시했으며, 반도체장비유지보수기능사 자격종목의 출제기준 및 채점 방법을 제시했고, 필기시험과 실기시험에 대한 모의 검정시험도 실시하였다. 이러한 결과를 토대로 반도체장비유지보수기능사에 대한 교육프로그램을 만들었으며, 자격검정을 실시할 수 있는 출제기준을 제시하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구의 목적은 반도체장비 유지보수 분야의 국내외 실태 조사, 문헌조사를 통하여 반도체장비 유지보수 관련 교육훈련기관 및 검정 수요 예상 인력을 파악하고, 직무분석을 통하여 반도체장비유지보수기능사의 직무 및 교육내용을 분석한다. 또한 반도체장비 유지보수 자격종목 신설에 대한 설문조사를 실시하고 이를 실증적으로 검증하는데 목적이 있으며, 구체적인 하위 연구목표는 다음과 같다.
  • 둘째, 반도체 장비 운용 인력에 대한 제도적 기반 마련에 있다. 국내 반도체 장비 유지보수 인력 양성의 운영 실태 및 문제점 분석하고 현행 반도체 장비 유지보수 인력 양성을 위한 교육제도의 개선 방안 분석하고 반도체 장비 유지보수 자격제도를 효율적으로 운영할 수 있는 교육훈련과정 개발하고 반도체 장비 유지보수에 대한 출제기준 제시한다. 따라서 반도체장비유지보수기능사에 대한 직무 분석을 통하여 반도체장비유지보수기능사 자격종목을 개발하는 것이며, 구체적인 연구목표는 다음과 같다.
  • 본 연구에서는 반도체장비유지보수를 체계적으로 관리할 수 있고 분석할 수 있는 반도체장비유지보수자격을 개발하기 위하여, 반도체유지보수기능사의 직무분석(직업명세서, 직무명세서, 작업명세서 작성)을 하였고, 국내외 관련 교육자료와 유사자격제도 등을 검토하였으며 도출되어진 내용을 설문을 통하여 검증함으로써 다음과 같은 결과를 도출하였다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
반도체장비 공정은 어떻게 분류되는가? 반도체장비 공정은 표 1에서와 같이 리소공정, 식각공정, 박막공정, 확산공정, C&C공정, 후공정 등으로 분류된다.
반도체장비란 무엇인가? 반도체장비는 반도체 회로설계, 실리콘웨이퍼 제조 등 반도체제조를 위한 준비 단계부터 웨이퍼를 가공하여 칩을 만들고, 조립 및 검사하는 단계까지의 모든 공정에 이용되는 장비를 의미하며 또한 반도체 제조장치가 설치되는 Clean-room 및 반도체 공장 전체, 환경제어에 관련된 각 설비도 넓은 의미의 반도체 제조설비라 할 수 있다. 일반적으로 전공정(웨이퍼 가공공정), 후공정(조립공정)으로 나누어진 반도체 제조공정에 대응하여 웨이퍼공정 장비, 조립공정 장비, 검사용장비로 분류되고 있으며 상기 세가지 분류에 해당하는 장비 이외에 전공정 이전 단계에서 일어나는 반도체 설계, 마스크 및 reticle 제조용, 웨이퍼제조용 장비 등이 있다.
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