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NTIS 바로가기Industry Applications Conference, 2001. Thirty-Sixth IAS Annual Meeting. Conference Record of the 2001 IEEE, v.1, 2001년, pp.399 - 403
Yatsuzuka, K. (Dept. of Electr.&) , Toukairin, J. (Inf. Eng., Yamaguchi Univ., Ube, Japan) , Asano, K. , Aonuma, S.
An electrostatic chuck is one of the useful device holding a thin object flat on a bed by electrostatic force. The authors have investigated the fundamental characteristics of an electrostatic chuck consisted of a pair of comb type electrodes and a thin insulation layer between the electrodes and an...
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