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NTIS 바로가기한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집, 2013 Feb. 18, 2013년, pp.350 - 350
허성은 (동국대학교 반도체과학과) , 김원준 (동국대학교 반도체과학과) , 김창민 (동국대학교 반도체과학과) , 이황호 (동국대학교 반도체과학과) , 이병호 (동국대학교 반도체과학과) , 이영민 (동국대학교 반도체과학과) , 김득영 (동국대학교 반도체과학과)
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