최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 일본특허청(JP) 공개특허 공개 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | JP-0229880 (2016-11-28) |
공개번호 | JP-0088435 (2018-06-07) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent corrosion of a storage container, pipes, and an etching chamber by improving the storage stability of HFO-1234ze and hindering occurrence of acid substance without deteriorating a satisfactory etching characteristic of HFO-1234ze in a semiconductor manufacturing proc
대표청구항이 없습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.