[특허]웨이퍼 세정방법

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[한국특허] 웨이퍼 세정방법
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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/304
출원번호	10-1995-0065646 (1995-12-29)
공개번호	10-1997-0052692 (1997-07-29)
등록번호	10-0208430-0000 (1999-04-15)
DOI	http://doi.org/10.8080/1019950065646
발명자 / 주소	김학묵 / 경기도 이천군 대월면 사동리 **- 현대사원 APT *-**
출원인 / 주소	주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산**-
대리인 / 주소	신영무; 최승민 (SHIN, Young Moo) 서울 중구 순화동 -** 에이스타워 층; 서울 중구 순화동 -*** 에이스타워 *층
심사청구여부	있음 (1995-12-29)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록

본 발명은 웨이퍼의 세정방법을 제공하는 것으로, 순수를 전기분해하여 얻어진 양극수 및 음극수를 이용한 전해이온수 세정방법으로 유기물 및 무기물을 제거하므로서 공정의 단순화로 시간을 단축시키고, 화학약품 소비감소 및 세정장비의 소형화로 인하여 소자의 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

대표청구항

웨이퍼 세정방법에 있어서, 전해이온수 세정방법으로 유기물 및 무기물을 제거하는 단계와, 상기 단계로부터 순수를 이용한 최종세정을 하는 단계와, 상기 단계로부터 웨이퍼를 건조하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정방법.

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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